华海清科股份有限公司孙传恽获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利位置标定装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223582953U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422996282.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型位置标定装置是由孙传恽;刘晟桤;李长坤设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本位置标定装置在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种位置标定装置，该位置标定装置应用于干燥设备，干燥设备还包括承载盘、喷杆和支撑臂，承载盘用于在干燥设备对晶圆进行干燥时承载晶圆，喷杆用于向晶圆喷射流体，喷杆设置在支撑臂上，支撑臂用于调整喷杆的位置；位置标定装置包括标定盘和喷嘴指向件；标定盘用于装配在喷杆与承载盘之间，且与承载盘平行，标定盘靠近喷杆的侧面设置有标识区域；喷嘴指向件可拆卸连接在喷杆上，喷嘴指向件具有位于喷杆的喷射路径上的尖端，通过调整支撑臂上喷杆的位置，使得喷杆带动喷嘴指向件的尖端对准标识区域，对喷杆的喷嘴进行位置标定。本方案降低了对喷杆进行位置标定的难度。
本实用新型位置标定装置在权利要求书中公布了：1.一种位置标定装置，其特征在于，应用于干燥设备，所述干燥设备还包括承载盘、喷杆和支撑臂，所述承载盘用于在所述干燥设备对晶圆进行干燥时承载晶圆，所述喷杆用于向所述晶圆喷射流体，所述喷杆设置在所述支撑臂上，所述支撑臂用于调整所述喷杆的位置；所述位置标定装置包括标定盘和喷嘴指向件； 所述标定盘用于装配在所述喷杆与所述承载盘之间，且与所述承载盘平行，所述标定盘靠近所述喷杆的侧面设置有标识区域； 所述喷嘴指向件可拆卸连接在所述喷杆上，所述喷嘴指向件具有位于所述喷杆的喷射路径上的尖端，通过调整所述支撑臂上所述喷杆的位置，使得所述喷杆带动所述喷嘴指向件的尖端对准所述标识区域，对所述喷杆的喷嘴进行位置标定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司，其通讯地址为：300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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