深圳市新凯来工业机器有限公司李林获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利反应装置及处理设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223582943U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423237554.1,技术领域涉及:H01L21/02;该实用新型反应装置及处理设备是由李林;王志勇;王剑伟;滕衍超;武文;周华;何珍;焦海淼设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本反应装置及处理设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种反应装置及处理设备,包括腔体、进气管和第一阻挡件,腔体内设有反应室、进气通道和进气孔,反应室与进气通道和进气管均连通,进气孔与进气通道与进气管均连通,进气管至少部分设置于进气通道内,进气管与进气通道之间具有间隙,第一阻挡件设于间隙,用于阻挡沉积在间隙内的气体进入反应室。本申请提供的反应装置,通过在进气管与进气通道之间的间隙设置第一阻挡件,有效地阻止了气体经间隙进入反应室,进而提高了反应室内反应的纯净度。
本实用新型反应装置及处理设备在权利要求书中公布了:1.一种反应装置,其特征在于,包括: 腔体,所述腔体内设有进气孔、进气通道和反应室,所述进气孔与所述进气通道连通,所述进气通道与所述反应室连通; 进气管,所述进气管至少部分设置于所述进气通道内,所述进气管与所述进气孔连通,所述进气管与所述反应室连通,所述进气管与所述进气通道之间具有间隙; 第一阻挡件,所述第一阻挡件设于所述间隙,用于阻挡气体经所述间隙进入所述反应室。
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