深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司林熙翔获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利电源引入组件以及气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223582940U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520230454.1，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型电源引入组件以及气相沉积装置是由林熙翔设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本电源引入组件以及气相沉积装置在说明书摘要公布了：本公开实施例公开了一种电源引入组件以及气相沉积装置，所述电源引入组件包括：引入部；被配置为连接电源；导电板；套设于所述引入部的外周；多个调节块，至少部分位于所述导电板与所述引入部之间；多个所述调节块在所述引入部的外侧沿所述引入部的周向分布；多个固定轴，所述固定轴在所述引入部的外侧沿所述引入部的周向间隔分布；各所述调节块与至少一个所述固定轴连接，所述调节块被配置为环绕平行于所述导电板的旋转轴旋转，且所述调节块环绕其连接的固定轴旋转。
本实用新型电源引入组件以及气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种电源引入组件，其特征在于，包括： 引入部；被配置为连接电源； 导电板；套设于所述引入部的外周； 多个调节块，在所述引入部的外侧沿所述引入部的周向分布；其中，至少部分所述调节块位于所述导电板与所述引入部之间； 多个固定轴，在所述引入部的外侧沿所述引入部的周向间隔分布；各所述调节块与至少一个所述固定轴连接，所述调节块被配置为环绕平行于所述导电板的旋转轴旋转，且所述调节块环绕其连接的固定轴旋转。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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