北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司于文忠获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利温度控制装置以及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223582387U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520269347.X，技术领域涉及：G05D23/20；该实用新型温度控制装置以及半导体设备是由于文忠;段昧存;李凤美;申乾云设计研发完成，并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本温度控制装置以及半导体设备在说明书摘要公布了：一种温度控制装置以及半导体设备，温度控制装置用于设置于工艺腔室的晶圆进出通道中，或者，用于可拆卸地设置于晶圆进出通道侧部的工艺腔室的外侧壁上，包括：加热组件；隔热组件，沿晶圆进出方向，邻近设置于加热组件的侧部；通槽，沿晶圆进出方向，贯穿隔热组件和加热组件，通槽用于供晶圆通过温度控制装置。加热组件能够对晶圆进出通道以及晶圆进出通道附近的工艺腔室的边缘区域进行加热，使得工艺腔室的边缘区域温度与预设工艺温度之间的差异程度较小，便于使得工艺处理过程中产生的副产物保持气态，从而便于将副产物排出，降低副产物在工艺腔室的边缘区域聚集形成颗粒缺陷源的概率，相应也降低了颗粒缺陷掉落在工艺腔室内或晶圆上的概率。
本实用新型温度控制装置以及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种温度控制装置，其特征在于，用于设置于工艺腔室的晶圆进出通道中，或者，用于可拆卸地设置于晶圆进出通道侧部的工艺腔室的外侧壁上，包括： 加热组件； 隔热组件，沿晶圆进出方向，邻近设置于所述加热组件的侧部； 通槽，沿晶圆进出方向，贯穿所述隔热组件和所述加热组件，所述通槽用于供晶圆通过所述温度控制装置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：102600 北京市大兴区北京经济技术开发区核心区34M3、42M2、34M4地块；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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