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材料科学姑苏实验室铁岳获国家专利权

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龙图腾网获悉材料科学姑苏实验室申请的专利一种超高真空互联系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223582354U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520052014.1,技术领域涉及:G05B19/04;该实用新型一种超高真空互联系统是由铁岳;唐唯卿;王晓艳;刘辉;吴艳伏;丁丁设计研发完成,并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种超高真空互联系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种超高真空互联系统,涉及超高真空技术领域。超高真空互联系统包括至少一个处理装置、数据采集模块和控制模块,每个处理装置包括选择性连通的两个样本室,每个样本室依次连接有离子规、分子泵和电磁阀,每个处理装置的两个电磁阀设置成连通且与前驱泵连接,两个样本室分别为进样室和分析室,数据采集模块设置成与每个离子规、分子泵、电磁阀和前驱泵通过串行通信接口连接,控制模块连接于数据采集模块,控制模块设置成用于接收数据采集模块的监测数据以及通过数据采集模块下发控制信号,以使得控制模块能够自动化监测处理装置的运行状态。本实用新型的超高真空互联系统能够实现自动化启停、较高的系统集成度和使用安全性。

本实用新型一种超高真空互联系统在权利要求书中公布了:1.一种超高真空互联系统,其特征在于,包括: 至少一个处理装置,每个所述处理装置包括选择性连通的两个样本室,每个所述样本室依次连接有离子规、分子泵和电磁阀,每个所述处理装置的两个所述电磁阀设置成连通且与前驱泵连接,两个所述样本室分别为进样室和分析室; 数据采集模块,设置成与每个所述离子规、所述分子泵、所述电磁阀和所述前驱泵通过串行通信接口连接; 控制模块,连接于所述数据采集模块,所述控制模块设置成用于接收所述数据采集模块的监测数据以及通过所述数据采集模块下发控制信号,以使得所述控制模块能够自动化监测所述处理装置的运行状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人材料科学姑苏实验室,其通讯地址为:215125 江苏省苏州市工业园区若水路388号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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