墨子实验室张华康获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉墨子实验室申请的专利一种光刻热板装置的热辐射控制装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223582322U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423321332.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻热板装置的热辐射控制装置是由张华康;程洁;杜士达;冯泰翔设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻热板装置的热辐射控制装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻热板装置的热辐射控制装置，包括加热座、控制器、温控器、热板、电阻丝及辅热组件，其中，所述控制器固定安装在加热座上，所述温控器位于加热座的内部，所述热板的底部固定安装在温控器的顶部。本实用新型通过温控器控制电阻丝进行加热，电阻丝的热量传递给导热凝胶层，导热凝胶层具有较好的导热性及流动性，导热凝胶层的整体的受热较为均匀，导热凝胶层在传导温度较为均匀，热板的顶部受热均匀，对半导体晶圆均匀加热；启动抽气泵及电加热管，抽气泵通过进气管抽取外界空气，外界空气需要通过过滤器过滤后进入出气管、加热筒、延伸管环热管及热风口喷出，喷出的热空气用于挡外界的空气与半导体晶圆的顶部涂胶的接触。
本实用新型一种光刻热板装置的热辐射控制装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻热板装置的热辐射控制装置，其特征在于，包括加热座1、控制器2、温控器3、热板4、电阻丝5及辅热组件6，其中，所述控制器2固定安装在加热座1上，所述温控器3位于加热座1的内部，所述热板4的底部固定安装在温控器3的顶部，所述电阻丝5固定安装在热板4上，所述辅热组件6固定安装在加热座1的内部； 所述热板4的内部开设有加热腔4.1，所述加热腔4.1的内部固定设置有导热凝胶层4.2，所述加热腔4.1的内底部开设有电线槽4.3。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人墨子实验室，其通讯地址为：450047 河南省郑州市郑东新区明理路西、崇德街南；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励