苏州镁伽科技有限公司李畅获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州镁伽科技有限公司申请的专利标定板调节装置及对准设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223582320U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423228756.X,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型标定板调节装置及对准设备是由李畅设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本标定板调节装置及对准设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种标定板调节装置及对准设备,涉及半导体技术领域,包括底座、第一调节座、第二调节座、旋转座和标定板组件;第一调节座设置于底座上,且第一调节座上设置有调节机构,调节机构用于调节第一调节座在竖直方向上的装配角度;第二调节座可转动地设置于第一调节座上,以使第二调节座可沿竖直方向移动;旋转座设置于第二调节座上,且旋转座可在水平方向上转动;标定板组件可转动地设置于旋转座上,且标定板组件与旋转座同步运动。本申请提供的标定板调节装置,可实现标定板的多自由度的独立调节,解决了标定板在多自由度装调过程中的串扰问题,提高了标定板装调的便捷性。
本实用新型标定板调节装置及对准设备在权利要求书中公布了:1.一种标定板调节装置,其特征在于,包括: 底座100; 第一调节座200,所述第一调节座200设置于所述底座100上,且所述第一调节座200上设置有调节机构201,所述调节机构201用于调节所述第一调节座200在竖直方向上的装配角度; 第二调节座300,所述第二调节座300可转动地设置于所述第一调节座200上,以使所述第二调节座300可沿所述竖直方向移动; 旋转座400,所述旋转座400设置于所述第二调节座300上,且所述旋转座400可在水平方向上转动; 标定板组件500,所述标定板组件500可转动地设置于所述旋转座400上,且所述标定板组件500与所述旋转座400同步运动。
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