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深圳大学闫培光获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利高速扫描大孔径光学相控阵获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223582283U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421160889.5,技术领域涉及:G02F1/29;该实用新型高速扫描大孔径光学相控阵是由闫培光;梁耿钦;李宗戈;杨俊波;屈军乐设计研发完成,并于2024-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

高速扫描大孔径光学相控阵在说明书摘要公布了:本实用新型公开了高速扫描大孔径光学相控阵,从下往上依次是硅衬底层,第一氧化硅衬底层,铌酸锂层,第二氧化硅包层,氮化硅层,氮化硅层包括:用于将光功率一分为二的多模干涉耦合器级联的光分束区、用于改变波导相位的调相区、用于将光发射到空间中的天线区。本实用新型的特点是铌酸锂折射率略高于上层的氮化硅,可以将光束缚在铌酸锂层传播,通过铌酸锂的高速调制特性,可以实现光学相控阵高速扫描。

本实用新型高速扫描大孔径光学相控阵在权利要求书中公布了:1.高速扫描大孔径光学相控阵,其特征在于,包括:硅基底、二氧化硅埋氧层、铌酸锂层、氮化硅层和二氧化硅包层,所述二氧化硅埋氧层设置在所述硅基底的上表面,所述铌酸锂层设置在所述二氧化硅埋氧层上表面,所述氮化硅层设置在所述铌酸锂层的上表面,其中以所述氮化硅层作为波导; 所述氮化硅层包括:用于将光功率一分为二的多模干涉耦合器级联的光分束区、用于改变波导相位的调相区、用于将光发射到空间中的天线区; 所述的光分束区中将光功率一分为二的多模干涉耦合器,输入为一根矩形氮化硅波导,中间多模干涉耦合区为更大尺寸的矩形氮化硅波导,输出为两根尺寸与输入相同尺寸的矩形氮化硅波导; 所述矩形氮化硅波导的宽度设定范围在6-8μm,所述矩形氮化硅波导的长度设定范围在21-28μm;所述天线区为非均匀光栅结构,光栅的占空比为0.5,扰动深度设定范围在50-400nm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳大学,其通讯地址为:518000 广东省深圳市南山区粤海街道南海大道3688号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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