上海积塔半导体有限公司方敬悦获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利激光检测装置及激光检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223581334U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520008741.8，技术领域涉及：G01M11/02；该实用新型激光检测装置及激光检测系统是由方敬悦设计研发完成，并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光检测装置及激光检测系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种激光检测装置及激光检测系统，激光检测装置及激光检测系统包括：光学镜、第一检测模块及第二检测模块；光学镜将光源出射的激光引至第一检测模块；第一检测模块对光源发出的激光信号进行第一次能量检测；第二检测模块位于工艺台一侧，对光源经过加工光学系统处理的激光信号进行第二次能量检测；通过综合两次能量检测可以获知激光光源的稳定性和衰减系数，进而优化半导体加工工艺，监测半导体的加工工艺优劣。本实用新型具有结构简单、易于实现以及监测结果准确率高的优点。
本实用新型激光检测装置及激光检测系统在权利要求书中公布了：1.一种激光检测装置，其特征在于，所述激光检测装置至少包括：光学镜、第一检测模块及第二检测模块； 所述光学镜位于光源一侧，所述光学镜将从光源出射的激光引至所述第一检测模块，入射到所述第一检测模块的激光信号为第一激光信号； 所述第一检测模块位于所述光学镜的出射端，包括第一能量检测装置；所述第一能量检测装置对所述第一激光信号的能量进行检测； 所述第二检测模块位于工艺台一侧，包括第二能量检测装置；所述光源经过加工光学系统处理后的激光信号为第二激光信号，所述第二能量检测装置对所述第二激光信号的能量进行检测。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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