安徽膜感科技有限公司唐瑞涛获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽膜感科技有限公司申请的专利一种同步测量薄膜厚度和弹性模量的装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223580985U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422904267.5,技术领域涉及:G01B21/08;该实用新型一种同步测量薄膜厚度和弹性模量的装置是由唐瑞涛设计研发完成,并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种同步测量薄膜厚度和弹性模量的装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种同步测量薄膜厚度和弹性模量的装置,该装置包括底座、设置在底座上的承载台和测量机构;所述测量机构包括位于所述承载台两侧竖直固定在所述底座上的支撑轴、至少一个竖直设置在所述承载台的正上方并通过横梁与所述支撑轴固定连接的限位轴承以及沿竖直方向穿过所述限位轴承能够依靠自重与所述承载台的上端面相抵触的测量杆;每个测量杆的正上方设置有位移传感器。本实用新型通过在测量薄膜厚度的同时,根据测量得到的变形量、加载力、膜厚数据,基于胡克定律利用材料线弹性变形范围内应力应变关系求解薄膜厚度,将机械测量方式造成的薄膜变形误差补偿到最终的膜厚测量结果,使最终测量的厚度和弹性模量结果更加精确。
本实用新型一种同步测量薄膜厚度和弹性模量的装置在权利要求书中公布了:1.一种同步测量薄膜厚度和弹性模量的装置,其特征在于,包括底座、设置在底座上的承载台和测量机构; 所述测量机构包括位于所述承载台两侧竖直固定在所述底座上的支撑轴、至少一个竖直设置在所述承载台的正上方并通过横梁与所述支撑轴固定连接的限位轴承以及沿竖直方向穿过所述限位轴承能够依靠自重与所述承载台的上端面相抵触的测量杆; 每个测量杆的正上方还设置有位移传感器。
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