浙江芯微泰克半导体有限公司义岚获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯微泰克半导体有限公司申请的专利卧式高温炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223580576U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423181754.X,技术领域涉及:F27B5/14;该实用新型卧式高温炉是由义岚;王冲;陈轮兴;陈源山设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本卧式高温炉在说明书摘要公布了:本申请实施例提供的卧式高温炉,其包括炉体和炉管,炉体设有第一空腔,炉管设有第二空腔;炉管沿预设的第一方向设于第一空腔内,并可围绕第一方向旋转;炉管设有在第一方向上对称设计的第一开口和第二开口,第一开口、第二开口均与第二空腔连通,第二开口被配置为所述第一开口的备用开口,进而可以在炉管即将发生变形时,将炉管旋转180度,以抵消炉管在高温状态下因自身重力发生变形的问题,同时也可以避免晶圆热处理后无法从第二空腔内取出,延长了炉管的使用寿命,降低了晶圆的生产制造成本。
本实用新型卧式高温炉在权利要求书中公布了:1.一种卧式高温炉,其特征在于,包括: 炉体,设有第一空腔; 炉管,设有第二空腔,所述炉管沿预设的第一方向设于所述第一空腔内,并可围绕所述第一方向旋转; 其中,所述炉管设有在所述第一方向上对称设计的第一开口和第二开口;所述第一开口、所述第二开口均与所述第二空腔连通,所述第二开口被配置为所述第一开口的备用开口。
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