拓荆科技(上海)有限公司杨辰烨获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种阀门设备和半导体器件的加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223578884U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422992051.9，技术领域涉及：F16K1/22；该实用新型一种阀门设备和半导体器件的加工设备是由杨辰烨设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种阀门设备和半导体器件的加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种阀门设备和半导体器件的加工设备。该阀门设备包括：阀体，其内部包括外部线圈；阀板，可活动地设于所述阀体中，通过调节所述阀板的位姿，以调节所述阀门设备的开度；以及内部线圈，设于所述阀板的内部，所述内部线圈经由对所述外部线圈施加的交变电压而在所述阀体内产生的交变磁场，产生涡电流，以感应加热所述阀板。通过上述阀门设备，能够直接加热阀板表面，提高阀板处的温度，从而减少碳掩膜沉积工艺中的反应副产物在阀板上的沉积导致阀板堵塞。
本实用新型一种阀门设备和半导体器件的加工设备在权利要求书中公布了：1.一种阀门设备，其特征在于，所述阀门设备包括： 阀体，其内部包括外部线圈； 阀板，可活动地设于所述阀体中，通过调节所述阀板的位姿，以调节所述阀门设备的开度；以及 内部线圈，设于所述阀板的内部，所述内部线圈经由对所述外部线圈施加的交变电压而在所述阀体内产生的交变磁场，产生涡电流，以感应加热所述阀板。
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