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龙图腾网获悉拉普拉斯(西安)科技有限责任公司申请的专利抽气匀流组件和工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223576591U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423292066.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型抽气匀流组件和工艺设备是由丁玉西;祁文杰;卢秋霞;刘群设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本抽气匀流组件和工艺设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体或光伏技术领域，尤其涉及一种抽气匀流组件和工艺设备，以解决工艺设备中靠近抽气端的区域中气流紊乱，导致靠近抽气端的基片工艺效果差的问题。该抽气匀流组件包括主体件和至少两个第一匀流件，第一匀流件具有多个第一匀流孔，工艺腔室中的气体在流向抽气匀流组件时，被多个第一匀流孔分流，使气体在靠近抽气匀流组件时被均匀地吸入抽气匀流腔室，实现抽气匀流，提高了靠近或接触抽气匀流组件的气流的均匀性，从而提高了靠近抽气匀流组件的基片的工艺效果。此外，主体件还具有供载板的端部伸入的至少一个容纳槽，使载板两侧的靠近第一匀流件附近的空间中的气流更加均匀，使抽气匀流组件还适用于载板的双侧承载基片的应用场景。

本实用新型抽气匀流组件和工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种抽气匀流组件，其特征在于，应用于工艺设备，所述工艺设备包括工艺腔体，所述工艺腔体具有工艺腔室，所述工艺腔室能够容纳至少一个载板，所述载板的第一侧和所述载板的第二侧相对设置，所述载板的第一侧和所述载板的第二侧分别具有用于承载基片的第一承载区域、第二承载区域，其中，所述抽气匀流组件能够设置于所述工艺腔室中，所述抽气匀流组件包括： 主体件，具有连接口，所述连接口被配置为与抽气装置连通； 至少两个第一匀流件，分别设置于所述主体件的朝向所述第一承载区域的一侧和所述第二承载区域的一侧； 其中，所述主体件和至少两个所述第一匀流件形成抽气匀流腔室，所述第一匀流件具有多个第一匀流孔，所述连接口和所述第一匀流孔均与所述抽气匀流腔室连通； 所述主体件还具有至少一个沿第一方向设置的容纳槽，所述容纳槽设置于相邻的两个所述第一匀流件之间，所述容纳槽被配置为供所述载板的端部伸入； 至少一个所述第一匀流件相对于所述主体件沿第二方向的位置可调，以调整所述容纳槽沿所述第二方向的尺寸，所述第二方向与所述第一方向交叉。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯(西安)科技有限责任公司，其通讯地址为：713700 陕西省西安市西咸新区泾河新城崇文镇泾河三街76号光电子学研究与创新中心3号楼3-4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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