苏州精材半导体科技有限公司;北京精测半导体装备有限公司;北京精材半导体科技有限公司吴松获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉苏州精材半导体科技有限公司;北京精测半导体装备有限公司;北京精材半导体科技有限公司申请的专利一种化学气相沉积碳化硅的系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223576589U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423276026.7，技术领域涉及：C23C16/448；该实用新型一种化学气相沉积碳化硅的系统是由吴松设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积碳化硅的系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种化学气相沉积碳化硅的系统，包括：供气模块，为沉积反应提供所需的气体；反应模块，包括化学气相沉积腔室，用于执行碳化硅的沉积反应过程；尾气处理模块，负责处理反应过程产生的尾气；供气模块包括气体输出部分、液体输出部分和汽化装置，气体输出部分、液体输出部分均与汽化装置的输入端连接，汽化装置的输出端与反应模块连接；反应模块的输出端与尾气处理模块连接，且两者之间连接有第一过滤装置。通过采用汽化装置替代传统的混合罐，显著提升了甲基三氯硅烷MTS的汽化效率，使得原料MTS的利用效率大幅提高，同时有效减少了氢气的用量。不仅降低了生产成本，还使得工艺条件的控制变得更加精确，提高了碳化硅产品的纯度。
本实用新型一种化学气相沉积碳化硅的系统在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积碳化硅的系统，其特征在于，包括： 供气模块1，为沉积反应提供所需的气体； 反应模块2，包括化学气相沉积腔室，用于执行碳化硅的沉积反应过程； 尾气处理模块3，负责处理反应过程产生的尾气； 所述供气模块1包括气体输出部分、液体输出部分和汽化装置104，所述气体输出部分、液体输出部分均与所述汽化装置104的输入端连接，所述汽化装置104的输出端与所述反应模块2连接；所述反应模块2的输出端与所述尾气处理模块3连接，且两者之间连接有第一过滤装置4。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州精材半导体科技有限公司;北京精测半导体装备有限公司;北京精材半导体科技有限公司，其通讯地址为：215127 江苏省苏州市工业园区启明路8号综合保税区B区H厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励