江西领航半导体科技有限公司范卫星获国家专利权
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龙图腾网获悉江西领航半导体科技有限公司申请的专利一种薄膜厚度监控片切换机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223576587U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422966881.4,技术领域涉及:C23C14/54;该实用新型一种薄膜厚度监控片切换机构是由范卫星;潘文创;沈灿彬设计研发完成,并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜厚度监控片切换机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种薄膜厚度监控片切换机构,其包括可转动的工件盘、安装于工件盘上可转动的监控片转盘以及设于监控片转盘旁可转动的拨动件,监控片转盘侧旁设有一对应监控片的透孔,监控片转盘上设有多个长度依次增加的导向部,拨动件包括多个长度依次增加的拨动杆;更换于透孔中露出的监控片时,转动任一拨动杆使与该拨动杆相对应的导向部转动,调节透孔中所露出的监控片。通过将相互配合的导向部和拨动杆设置成长短不一的,让对应的拨动杆只能带动对应长短的导向部进行移动,以根据透孔中所露出监控片的使用情况来选择性更换不同导向部下方的监控片。
本实用新型一种薄膜厚度监控片切换机构在权利要求书中公布了:1.一种薄膜厚度监控片切换机构,包括可转动的工件盘10、安装于工件盘10上可转动的监控片转盘20以及设于监控片转盘20旁可转动的拨动件30,其特征在于:所述监控片转盘20侧旁设有一对应监控片的透孔1,所述监控片转盘20上设有多个长度依次增加的导向部21,所述拨动件30包括多个长度依次增加的拨动杆31;更换于透孔1中露出的监控片时,转动任一所述拨动杆31使与该拨动杆31相对应的导向部21转动,调节所述透孔1中所露出的监控片。
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