昆山弘润真空科技有限公司王跃庚获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山弘润真空科技有限公司申请的专利复合多元磁场电弧阴极装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223576582U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423269522.X，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型复合多元磁场电弧阴极装置是由王跃庚;李云设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本复合多元磁场电弧阴极装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种复合多元磁场电弧阴极装置，装配于真空腔体，且所述真空腔体还设有配合所述阴极装置使用的引弧装置，以形成回路，所述阴极装置包括防护罩和法兰座，所述防护罩与法兰座之间设有固定板件，通过所述固定板件将所述防护罩与法兰座之间分隔成隔离腔和磁场腔；所述磁场腔内设有电磁线圈和永磁铁，所述永磁铁位于所述电磁线圈的上方且与所述电磁线圈同一轴向；还包括设于所述防护罩且连接电源的阴极组件，该装置通过电磁线圈和永磁铁产生复合型磁场，相较于现有技术中的单磁场使得靶材颗粒溅射的更加细腻，同时靶材的面消耗的更加均匀。
本实用新型复合多元磁场电弧阴极装置在权利要求书中公布了：1.一种复合多元磁场电弧阴极装置，装配于真空腔体，且所述真空腔体还设有配合所述阴极装置使用的引弧装置，以形成回路，其特征在于，所述阴极装置包括防护罩100和法兰座200，所述防护罩100与法兰座200之间设有固定板件，通过所述固定板件将所述防护罩100与法兰座200之间分隔成隔离腔110和磁场腔210； 所述磁场腔210内设有电磁线圈和永磁铁800，所述永磁铁800位于所述电磁线圈的上方且与所述电磁线圈同一轴向； 还包括设于所述防护罩100且连接电源的阴极组件700。
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