武汉是维光电科技有限公司王瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉是维光电科技有限公司申请的专利一种热蒸发和电子束复合外延沉积制备薄膜材料的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223576581U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423177002.6，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种热蒸发和电子束复合外延沉积制备薄膜材料的装置是由王瑞;莫琴;王涛设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种热蒸发和电子束复合外延沉积制备薄膜材料的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种热蒸发和电子束复合外延沉积制备薄膜材料的装置，包括机架主体、真空腔体与真空泵，真空泵用于真空腔体内部真空化操作，所述真空腔体上设置有盖体，所述装置还包括：变温样品台，设置在真空腔体内部，用于安装电子束蒸发结构并放置沉积制备源材料；电阻热蒸发源，设置在真空腔体内部，所述电阻热蒸发源位于变温样品台正下方，所述电子束蒸发结构包括样品托、嵌设在样品托上表面的基片和用于安装多组钨丝的钨丝夹板，所述钨丝发射电子轰击到样品托上加热制备薄膜材料。本实用新型能够同时支持热蒸发和电子束蒸发两种薄膜材料制备方法，从而达到多功能沉积外延的目的，进而能够满足不同工艺需求下的材料制备。
本实用新型一种热蒸发和电子束复合外延沉积制备薄膜材料的装置在权利要求书中公布了：1.一种热蒸发和电子束复合外延沉积制备薄膜材料的装置，包括机架主体1、真空腔体2与真空泵3，真空腔体2与真空泵3均安装在机架主体1上，且真空泵3通过波纹管与真空腔体2连接，用于真空腔体2内部真空化操作，其特征在于，所述真空腔体2上设置有盖体4，所述装置还包括： 变温样品台403，设置在真空腔体2内部，用于安装电子束蒸发结构404并放置沉积制备源材料； 电阻热蒸发源6，设置在真空腔体2内部，所述电阻热蒸发源6位于变温样品台403正下方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉是维光电科技有限公司，其通讯地址为：430000 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区华师园北路18号博瀚科技光电子信息产业基地二期6栋4层01号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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