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龙图腾网获悉东莞威仪嘉自动化设备有限公司申请的专利一种晶圆搬运机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566596U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422515531.6，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆搬运机构是由赵本晶设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆搬运机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆搬运机构，包括进出仓手臂、进出仓手臂平移驱动装置、中心吸盘、第一检查搬运手臂、第二检查搬运手臂、检查搬运手臂升降驱动装置和检查搬运手臂平移驱动装置，其结构紧凑，节省占地空间，可完成晶圆的上下料搬运和微观检测的交替式搬运，运行稳定可靠，在晶圆移动过程中，不会发生晶圆掉落、磕碰等问题，大大提高了效率。此外，本实用新型还设有翻面手臂、翻面手臂升降翻转驱动装置、吸盘升降驱动装置、吸盘水平调节装置，吸盘翻面驱动装置、吸盘旋转驱动装置，其能够带动晶圆进行预设角度的翻转和旋转，能够辅助操作人员对晶圆进行晶圆表面检测、晶背边缘检测和晶背中心检测，操作方便，提高了效率。

本实用新型一种晶圆搬运机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬运机构，其特征在于：包括用于将晶圆料仓内待检测的晶圆取出到中心吸盘和将检测完的晶圆送回晶圆料仓的进出仓手臂，用于带动进出仓手臂移动的进出仓手臂平移驱动装置，用于吸住晶圆的反面中部的中心吸盘，用于将中心吸盘上的前后两块晶圆交替搬运到显微镜检测区和将前后两块晶圆交替从显微镜观察区搬运回中心吸盘的第一检查搬运手臂以及第二检查搬运手臂，用于带动第一检查搬运手臂和第二检查搬运手臂升降的检查搬运手臂升降驱动装置，用于带动第一检查搬运手臂和第二检查搬运手臂进行交替式水平移动的检查搬运手臂平移驱动装置，所述进出仓手臂平移驱动装置和检查搬运手臂升降驱动装置分别布置在中心吸盘的周边，所述进出仓手臂安装在进出仓手臂平移驱动装置上，所述检查搬运手臂平移驱动装置安装在检查搬运手臂升降驱动装置上，所述第一检查搬运手臂和第二检查搬运手臂分别安装在检查搬运手臂平移驱动装置上，所述进出仓手臂、第一检查搬运手臂和第二检查搬运手臂上分别设有用于吸住晶圆的手臂吸盘。

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