西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司孙晓寅获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司申请的专利一种湿法刻蚀用容器及湿法刻蚀系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566588U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423081869.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种湿法刻蚀用容器及湿法刻蚀系统是由孙晓寅设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种湿法刻蚀用容器及湿法刻蚀系统在说明书摘要公布了：本公开实施例公开了一种湿法刻蚀用容器及湿法刻蚀系统，该湿法刻蚀用容器可以包括：槽体，用于承载刻蚀液以在槽体内对晶圆进行刻蚀；过滤组件设置于所述槽体底部，用于收集尺寸大于预设值的杂质，以在所述过滤组件取出所述槽体时，将所述尺寸大于预设值的杂质从所述槽体移除。
本实用新型一种湿法刻蚀用容器及湿法刻蚀系统在权利要求书中公布了：1.一种湿法刻蚀用容器，其特征在于，包括： 槽体，用于承载刻蚀液，以在槽体内对晶圆进行刻蚀； 过滤组件，设置于所述槽体底部，用于收集尺寸大于预设值的杂质，以在所述过滤组件取出所述槽体时，将所述尺寸大于预设值的杂质从所述槽体移除。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司，其通讯地址为：710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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