东莞市元素真空科技有限公司高佳获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市元素真空科技有限公司申请的专利一种用于输送溅射镀膜笼架的除尘除静电输送设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223560414U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520005122.3,技术领域涉及:B65G15/30;该实用新型一种用于输送溅射镀膜笼架的除尘除静电输送设备是由高佳;周征华;宋加杰;赵金雷;王随随设计研发完成,并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于输送溅射镀膜笼架的除尘除静电输送设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于输送溅射镀膜笼架的除尘除静电输送设备,包括至少一个镀膜腔室以及连接镀膜腔室的输送组件,输送组件用于输送笼架,笼架的输送路径上设有用于驱动笼架转动的驱动机构,以及,位于驱动机构侧旁的除尘除静电机构,除尘除静电机构的输出端朝向笼架;笼架进入镀膜腔室前,驱动机构驱动笼架转动,使除尘除静电机构作用于笼架侧壁上的工件。通过在输送组件的输送路径上设置驱动机构,并通过驱动机构驱使输送组件上笼架转动,使放置于驱动机构侧旁的除尘除静电机构能对笼架上工件进行除尘除静电,另外,除尘除静电机构能在笼架的转动下对其侧缘上不同位置工件进行除尘除静电。
本实用新型一种用于输送溅射镀膜笼架的除尘除静电输送设备在权利要求书中公布了:1.一种用于输送溅射镀膜笼架的除尘除静电输送设备,包括至少一个镀膜腔室10以及连接镀膜腔室10的输送组件20,所述输送组件20用于输送笼架30,其特征在于: 所述笼架30的输送路径上设有用于驱动所述笼架30转动的驱动机构40,以及,位于所述驱动机构40侧旁的除尘除静电机构50,所述除尘除静电机构50的输出端朝向笼架30; 所述笼架30进入镀膜腔室10前,所述驱动机构40驱动所述笼架30转动,使所述除尘除静电机构50作用于所述笼架30侧壁上的工件1。
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