珠海市中芯集成电路有限公司吴俊获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海市中芯集成电路有限公司申请的专利一种晶圆片切割设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223558758U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423175927.7,技术领域涉及:B28D1/24;该实用新型一种晶圆片切割设备是由吴俊;袁志伟;向宏阳设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆片切割设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆片切割设备,涉及晶圆片切割技术领域,包括机架;XZ轴驱动机构和刀片,XZ轴驱动机构用于驱使刀片沿上下方向和前后方向移动;定位圆盘和固定机构,固定机构用于将晶圆片固定于定位圆盘上;Y轴驱动机构,Y轴驱动机构用于驱使定位圆盘沿左右方向移动;角度调节机构,角度调节机构用于驱使定位圆盘转动;旋转驱动机构,旋转驱动机构用于驱使刀片转动;破损检测机构、控制器和警示灯,破损检测机构用于检测破损的刀片,控制器用于控制旋转驱动机构和警示灯启停。当破损检测机构检测出刀片破损后,控制器会控制旋转驱动机构关闭,避免了刀片继续而导致晶圆片的切割质量下降,有利于提高芯片的良品率。
本实用新型一种晶圆片切割设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆片切割设备,其特征在于,包括: 机架100; XZ轴驱动机构200和刀片220,所述XZ轴驱动机构200设于所述机架100上,所述XZ轴驱动机构200用于驱使所述刀片220沿上下方向和前后方向移动,所述刀片220用于切割晶圆片; 定位圆盘330和固定机构320,所述定位圆盘330用于定位所述晶圆片,以使所述晶圆片的上表面垂直于上下方向,所述固定机构320设于所述定位圆盘330上,所述固定机构320用于将所述晶圆片固定于所述定位圆盘330上; Y轴驱动机构300,所述Y轴驱动机构300设于所述机架100上,所述Y轴驱动机构300用于驱使所述定位圆盘330沿左右方向移动,以使所述定位圆盘330上的所述晶圆片能够移动至所述刀片220的下方; 角度调节机构310,所述角度调节机构310用于驱使所述定位圆盘330转动,以使所述定位圆盘330上的所述晶圆片能够转动; 旋转驱动机构210,所述旋转驱动机构210用于驱使所述刀片220转动,以使所述刀片220能够切割所述定位圆盘330上的所述晶圆片; 破损检测机构400、控制器和警示灯110,所述破损检测机构400用于检测破损的所述刀片220,所述警示灯110用于发光闪烁,所述控制器用于控制所述旋转驱动机构210和所述警示灯110启停,所述控制器与所述破损检测机构400电性连接,以使所述破损检测机构400检测到所述刀片220破损时,所述控制器控制所述旋转驱动机构210关闭并控制所述警示灯110启动。
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