买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉无锡贝伦思科技有限公司申请的专利一种CMP设备上的可升降式晶圆水槽获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223558157U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422329526.6，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型一种CMP设备上的可升降式晶圆水槽是由刘俊成;陆铭设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种CMP设备上的可升降式晶圆水槽在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆水槽技术的领域，尤其涉及一种CMP设备上的可升降式晶圆水槽，其包括水槽、机架、连接杆和安装板，所述水槽设置于机架上，所述机架上设有用于升降水槽的升降组件，所述连接杆连接于机架上，所述安装板连接于连接杆的端部，所述安装板与连接杆相互垂直设置，所述安装板可位于水槽内部。本申请具有改善人工放置晶圆载具时会受到纯水浮力和光线折射的影响而导致晶圆载具放置错位偏移的问题的作用。

本实用新型一种CMP设备上的可升降式晶圆水槽在权利要求书中公布了：1.一种CMP设备上的可升降式晶圆水槽，其特征在于：包括水槽1、机架2、连接杆3和安装板4，所述水槽1设置于机架2上，所述机架2上设有用于升降水槽1的升降组件5，所述连接杆3连接于机架2上，所述安装板4连接于连接杆3的端部，所述安装板4与连接杆3相互垂直设置，所述安装板4可位于水槽1内部；所述升降组件5包括升降气缸51和连接座52，所述升降气缸51连接于机架2上，所述升降气缸51的活塞杆沿垂直于机架2的方向设置，所述连接座52连接于水槽1底部，所述升降气缸51的活塞杆连接于连接座52上，所述连接座52上开设有供升降气缸51的活塞杆插入的连接孔，所述连接座52上设有用于锁定升降气缸51的活塞杆的锁定组件6；所述锁定组件6包括封盖61、拉杆62、滑块63、弹簧64、连接板65、把手66和锁定杆67，所述连接座52上开设有安装槽，所述封盖61连接于安装槽的槽口上，所述拉杆62穿过封盖61设置于安装槽内，所述拉杆62的轴线与安装槽的轴线共线设置，所述滑块63连接于拉杆62位于安装槽内的端部，所述滑块63呈立方体设置，所述滑块63的侧壁滑动贴合于安装槽的内壁，所述弹簧64套设于拉杆62位于安装槽的杆身上，所述弹簧64的一端抵触于滑块63上，另一端抵触于封盖61上，所述连接板65连接于拉杆62未穿入安装槽内的端部，所述连接板65与拉杆62相互垂直设置，所述把手66连接于连接板65上，所述把手66位于连接板65背向连接座52的表面上，所述锁定杆67连接于连接板65上，所述锁定杆67沿垂直于连接板65的方向设置，所述连接座52上开设有供锁定杆67穿过的通孔，所述升降气缸51的活塞杆上开设有供锁定杆67插入的锁定孔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡贝伦思科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区中关村科技创新园92号J1-2栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。