西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司李昊获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利一种抛光头和抛光设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223558156U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423213421.0,技术领域涉及:B24B37/11;该实用新型一种抛光头和抛光设备是由李昊;刘永亮;胡斌设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光头和抛光设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种抛光头和抛光设备,该抛光头包括:第一本体,具有主通道和从主通道分支出的多个分支通道,主通道在第一本体的第一表面形成主通道开口,多个分支通道在第一本体的第二表面形成相应的多个分支通道开口;第二本体,具有至少两个供应通道,至少两个供应通道在第二本体的配合表面形成相应的至少两个供应通道开口,配合表面与第一本体的第一表面之间形成密封配合;其中,第一本体和第二本体能够相对于彼此绕与配合表面垂直的转动轴线转动,使得每个供应通道开口都能够与主通道开口对准,并且一个供应通道开口与主通道开口对准时,其他供应通道开口被第一本体的第一表面封闭。
本实用新型一种抛光头和抛光设备在权利要求书中公布了:1.一种抛光头,其特征在于,所述抛光头包括: 第一本体,所述第一本体具有主通道和从所述主通道分支出的多个分支通道,所述主通道在所述第一本体的第一表面形成主通道开口,所述多个分支通道在所述第一本体的第二表面形成相应的多个分支通道开口; 第二本体,所述第二本体具有至少两个供应通道,所述至少两个供应通道在所述第二本体的配合表面形成相应的至少两个供应通道开口,所述配合表面与所述第一本体的所述第一表面之间形成密封配合; 其中,所述第一本体和所述第二本体能够相对于彼此绕与所述配合表面垂直的转动轴线转动,使得每个供应通道开口都能够与所述主通道开口对准,并且一个供应通道开口与所述主通道开口对准时,所述至少两个供应通道开口中除了所述一个供应通道开口以外的其他供应通道开口被所述第一本体的所述第一表面封闭。
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