北京特思迪半导体设备有限公司黄少华获国家专利权
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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利一种晶锭清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223556698U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422853030.9，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种晶锭清洗装置是由黄少华;高超;寇明虎设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶锭清洗装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶锭清洗装置，属于半导体加工设备技术领域，具体而言，包括：清洗槽体、升降夹紧机构；所述升降夹紧机构设置在所述清洗槽体上，所述升降夹紧机构用于对待清洗的晶锭进行夹紧并移动至所述清洗槽体内，所述清洗槽体内的超声波清洗机构对所述晶锭进行超声波清洗。在本申请示例实施方式所提供的晶锭清洗装置，升降夹紧机构用于对待清洗的晶锭进行夹紧固定并移动至清洗槽体内，清洗槽体内的超声波清洗机构对待清洗的晶锭进行超声波清洗。通过设计升降夹紧机构对晶锭进行夹紧移动，并且在清洗过程中保持对晶锭的夹紧效果，可以保证晶锭在清洗过程中的位置保持不变，不会受超声和浮力的影响，便于清洗后机械手的精准取料。
本实用新型一种晶锭清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶锭清洗装置，其特征在于，包括： 清洗槽体、升降夹紧机构； 所述升降夹紧机构设置在所述清洗槽体上，所述升降夹紧机构用于对待清洗的晶锭进行夹紧并移动至所述清洗槽体内，所述清洗槽体内的超声波清洗机构对所述晶锭进行超声波清洗； 所述升降夹紧机构包括第一升降机构和第二升降机构，所述第一升降机构和第二升降机构分设在所述清洗槽体的两侧，所述第一升降机构和所述第二升降机构中的至少一个上滑动设有水平移动机构，所述第一升降机构或所述第二升降机构上滑动设有水平移动机构，所述水平移动机构具有第一夹紧部，所述第二升降机构或所述第一升降机构具有第二夹紧部，所述水平移动机构朝向所述第二升降机构或所述第一升降机构移动时所述第一夹紧部和所述第二夹紧部适于夹紧所述待清洗的晶锭，所述第一升降机构和第二升降机构用于共同带动待清洗的晶锭移动至所述清洗槽体内。
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