安徽大鹏半导体有限公司祖显文获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽大鹏半导体有限公司申请的专利涂源装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223556342U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422613860.4，技术领域涉及：B05B17/06；该实用新型涂源装置是由祖显文;孙江涛;程富豪设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本涂源装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体晶圆制造技术领域，公开了一种涂源装置，该涂覆装置包括底座、承托组件、支撑架和超声雾化组件，承托组件安装于底座上，承托组件包括托盘，托盘用于吸附晶圆；支撑架沿第一方向滑动设置于底座上；超声雾化组件沿第二方向滑动设置于支撑架上，且超声雾化组件位于晶圆的上方，超声雾化组件包括液态源件、雾化件和喷嘴件，液态源件通过管道与雾化件连通，喷嘴件与雾化件连通，雾化件能对液态源件内的液态源进行超声雾化处理，使得超声雾化处理后的液态源经由喷嘴件喷涂至晶圆的表面。上述涂源装置对晶圆表面做涂源处理时，可以沿第二方向滑动超声雾化组件来调节喷嘴件位于晶圆上方的位置，提高了涂覆的自动化程度。
本实用新型涂源装置在权利要求书中公布了：1.涂源装置，其特征在于，包括： 底座100； 承托组件，安装于所述底座100上，所述承托组件包括托盘，所述托盘用于吸附晶圆500； 支撑架300，沿第一方向滑动设置于所述底座100上； 超声雾化组件，沿第二方向滑动设置于所述支撑架300上，且所述超声雾化组件位于所述晶圆500的上方，所述超声雾化组件包括液态源件410、雾化件420和喷嘴件430，所述液态源件410通过管道与所述雾化件420连通，所述喷嘴件430与所述雾化件420连通，所述雾化件420能对所述液态源件410内的液态源进行超声雾化处理，使得超声雾化处理后的所述液态源经由所述喷嘴件430喷涂至所述晶圆500的表面。
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