广东科辉半导体有限公司施振潮获国家专利权
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龙图腾网获悉广东科辉半导体有限公司申请的专利一种半导体加工用镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223556338U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422996544.X,技术领域涉及:B05B16/20;该实用新型一种半导体加工用镀膜设备是由施振潮设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工用镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种半导体加工用镀膜设备,涉及半导体加工技术领域,包括操作台,所述操作台的表面中心位置设置有电动滑轨,所述操作台的前表面连接有镀膜箱,所述操作台的后表面连接有烘干组件,所述烘干组件包括烘干箱,所述烘干箱的顶部连接有两组热风机,两组所述热风机的表面连接有框架,所述框架的两侧内壁均开设有插口,所述框架的内部设置有过滤网,所述过滤网的两侧内部均开设有槽孔,所述槽孔的内部设置有弹簧,所述弹簧的一侧连接有推板;本实用新型,在对半导体工件进行镀膜后,便可对工件进行烘干操作,在烘干的同时,可以通过过滤网避免热风机将灰尘吸入烘干箱内,提高镀膜层与工件之间的结合力和附着力。
本实用新型一种半导体加工用镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体加工用镀膜设备,包括操作台1,其特征在于:所述操作台1的表面中心位置设置有电动滑轨2,所述操作台1的前表面连接有镀膜箱3,所述操作台1的后表面连接有烘干组件4; 所述烘干组件4包括烘干箱401,所述烘干箱401的顶部连接有两组热风机402,两组所述热风机402的表面连接有框架403,所述框架403的两侧内壁均开设有插口404,所述框架403的内部设置有过滤网405,所述过滤网405的两侧内部均开设有槽孔406,所述槽孔406的内部设置有弹簧407,所述弹簧407的一侧连接有推板408,所述推板408的一侧连接有插块410,所述推板408的前表面连接有拨块409。
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