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龙图腾网获悉无锡众能光储科技有限公司申请的专利一种基于椭偏仪的膜厚检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120831058B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511325078.5，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种基于椭偏仪的膜厚检测方法及系统是由杜运强;咸浩;吴鸣雁设计研发完成，并于2025-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于椭偏仪的膜厚检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及厚度测量领域，具体涉及一种基于椭偏仪的膜厚检测方法及系统。包括：获取初始点位反光数据；根据初始点位反光数据，确定初始点聚类簇；根据初始点聚类簇，确定椭偏仪检测点聚类簇；根据椭偏仪检测点聚类簇，确定旋涂分布量，当旋涂分布量满足预设旋转分布量阈值时，根据椭偏仪检测点聚类簇确定中心点位，并根据中心点位确定目标检测点位，当旋涂分布量不满足预设旋转分布量阈值时，将目标钙钛矿薄膜确定为损坏钙钛矿薄膜；获取目标检测点位的反光数据，根据目标检测点位的反光数据评估目标钙钛矿薄膜的均匀性。本发明可以极大程度消除因为钙钛矿薄膜表面结构问题导致的椭偏仪检测误差。

本发明授权一种基于椭偏仪的膜厚检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于椭偏仪的膜厚检测方法，其特征在于，包括： 获取设置在目标钙钛矿薄膜上的初始点的初始点位反光数据； 根据所述初始点位反光数据，计算第一初始点和第二初始点的相似性值； 当所述相似性值在预设相似性阈值范围内时，确定所述第一初始点和所述第二初始点在同一类簇，且将所述第一初始点和所述第二初始点所在的类簇确定为初始点聚类簇； 其中，所述第一初始点和所述第二初始点分别为所述初始点中不同的任一初始点； 确定厚度最大初始点，并根据每个所述初始点聚类簇中的初始点，确定每个所述初始点聚类簇的反光相关程度； 当第j个初始点聚类簇的反光相关程度满足预设反光程度阈值时，将所述第j个初始点聚类簇确定为椭偏仪检测点聚类簇； 获取所述椭偏仪检测点聚类簇中的所有初始点的膜厚检测值，分别计算每个椭偏仪检测点聚类簇的检测点膜厚均值； 获取所述椭偏仪检测点聚类簇中的所有初始点分别与厚度最大初始点的距离，分别计算每个椭偏仪检测点聚类簇的检测点距离均值； 计算第k+1个椭偏仪检测点聚类簇的检测点膜厚均值和第k个椭偏仪检测点聚类簇的检测点膜厚均值的差值，将差值取绝对值，得到第n个相邻聚类簇厚度差值； 计算第k+1个椭偏仪检测点聚类簇的检测点距离均值和第k个椭偏仪检测点聚类簇的检测点距离均值的差值，将差值取绝对值，得到第n个相邻聚类簇距离差值； 计算所述第n个相邻聚类簇距离差值和所述第n个相邻聚类簇距离差值的比值，得到第n个差值比例值； 计算第n个差值比例值与预设经验系数的差值，得到第n个理论旋涂分布量； 计算N个理论旋涂分布量的和并求均，得到理论旋涂分布量均值； 将所述理论旋涂分布量均值加一后求倒数，得到旋涂分布量； 当所述旋涂分布量满足预设旋转分布量阈值时，根据所述椭偏仪检测点聚类簇确定中心点位，并根据所述中心点位确定目标检测点位，当所述旋涂分布量不满足预设旋转分布量阈值时，将所述目标钙钛矿薄膜确定为损坏钙钛矿薄膜； 获取所述目标检测点位的反光数据，根据所述目标检测点位的反光数据评估所述目标钙钛矿薄膜的均匀性。

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