航菱微(泰州)科技有限公司何平获国家专利权
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龙图腾网获悉航菱微(泰州)科技有限公司申请的专利一种具有流速调控功能的晶圆清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120809627B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511270669.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种具有流速调控功能的晶圆清洗设备是由何平;沈建宇;魏岩岩设计研发完成，并于2025-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有流速调控功能的晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有流速调控功能的晶圆清洗设备，涉及清洗设备技术领域，清洗设备包括超声波强酸清洗机构、循环水路清洗机构、干燥清洗机构、温控机构和清洗机体，超声波强酸清洗机构和清洗机体紧固连接，循环水路清洗机构和清洗机体紧固连接，干燥清洗机构和清洗机体紧固连接，温控机构和清洗机体紧固连接，强酸清洗机构位于最下方，完成初步去污并避免酸液渗漏；中部循环水路清洗机构实现恒温超纯水漂洗，确保清洁彻底；上部干燥机构利用热风干燥晶圆表面，防止水渍残留；温控机构维持清洗温度的稳定。垂直流程设计顺应重力流向，结构紧凑、密封性高，显著提升清洗效率与可靠性。
本发明授权一种具有流速调控功能的晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种具有流速调控功能的晶圆清洗设备，其特征在于：所述清洗设备包括超声波强酸清洗机构1、循环水路清洗机构2、干燥清洗机构3、温控机构4和清洗机体5，所述超声波强酸清洗机构1和清洗机体5紧固连接，所述循环水路清洗机构2和清洗机体5紧固连接，所述干燥清洗机构3和清洗机体5紧固连接，所述温控机构4和清洗机体5紧固连接，所述超声波强酸清洗机构1位于循环水路清洗机构2下方，所述干燥清洗机构3位于循环水路清洗机构2上方，所述清洗设备还包括预清洗架6、清洗齿条7、清洗齿轮组8和预清洗电机9，所述预清洗架6和干燥清洗机构3紧固连接，所述预清洗电机9和预清洗架6紧固连接，所述预清洗电机9和清洗齿轮组8传动连接，所述清洗齿轮组8和清洗齿条7传动连接。
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