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龙图腾网获悉江苏中科智芯集成科技有限公司申请的专利应用于液态树脂晶圆塑封的工艺优化方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120809589B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511289393.7，技术领域涉及：H01L21/56；该发明授权应用于液态树脂晶圆塑封的工艺优化方法及系统是由袁龙振;毛浩;张猛设计研发完成，并于2025-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本应用于液态树脂晶圆塑封的工艺优化方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆塑封技术领域，尤其涉及一种应用于液态树脂晶圆塑封的工艺优化方法及系统，包括：获取液态树脂初始特性、释放膜初始状态以及晶圆尺寸结构特征；基于液态树脂初始特性和释放膜初始状态，确定释放膜预热控制参数，并以此进行预热工序；在预热工序结束后，对释放膜目标区域进行特征识别，获得释放膜表面特征以及目标区域尺寸特征；对释放膜表面特征、目标区域尺寸特征以及液态树脂初始特性进行流动性模拟，并根据流动性模拟结果，确定挤胶参数，并以此进行挤胶工序。其通过流动性模拟和合模控制模型，提前预判树脂在不同工况下的填充行为，解决固定参数导致的填充不均问题。

本发明授权应用于液态树脂晶圆塑封的工艺优化方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种应用于液态树脂晶圆塑封的工艺优化方法，其特征在于，包括： 获取液态树脂初始特性、释放膜初始状态以及晶圆尺寸结构特征； 基于所述液态树脂初始特性和所述释放膜初始状态，确定释放膜预热控制参数，并以此进行预热工序； 在预热工序结束后，对释放膜目标区域进行特征识别，获得释放膜表面特征以及目标区域尺寸特征； 对所述释放膜表面特征、目标区域尺寸特征以及所述液态树脂初始特性进行流动性模拟，并根据流动性模拟结果，确定挤胶参数，并以此进行挤胶工序；所述挤胶参数包括螺旋路径、挤胶速度以及挤胶压力； 在挤胶工序结束后，获取液态树脂实时特性，并将其与所述晶圆尺寸结构特征输入至塑封合模控制模型中，获得合模工艺参数，并以此进行合模工序；所述合模工艺参数包括合模速度与合模压力； 所述释放膜预热控制参数包括预热温度和预热时间； 所述预热温度的确定基于所述液态树脂初始特性的粘温曲线以及所述释放膜初始状态的热传导性能； 所述预热时间的确定基于所述释放膜的目标区域尺寸特征以及所述液态树脂在所述预热温度下的预期流动性改善时间，以使所述释放膜的目标区域在预热后能达到与所述液态树脂初始特性相适配的温度状态； 所述预热温度的计算公式为： ； 其中，表示预热温度；表示树脂粘流活化能；表示气体常数；表示目标粘度；表示指前因子，用于量化材料性质随温度变化的基准值；表示环境温度。

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