安徽陶芯科半导体新材料有限公司淦亮亮获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉安徽陶芯科半导体新材料有限公司申请的专利DBC陶瓷覆铜基板专用曝光机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120802573B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511276897.5,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权DBC陶瓷覆铜基板专用曝光机是由淦亮亮;凌晨;计克宇;倪炜;汪静娴;陈茂东;徐慧乔;廖彧鑫;汪思越;程鹏;徐沁妍设计研发完成,并于2025-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本DBC陶瓷覆铜基板专用曝光机在说明书摘要公布了:本发明公开了DBC陶瓷覆铜基板专用曝光机,属于曝光机技术领域,其包括机台,所述机台顶部设置有热交换散热端口,所述机台一侧固定连接有照明板,所述照明板的底部设置有LED灯板,所述机台对应照明板一侧开设有台框交换口,所述台框交换口内设置有一对曝光台框,所述台框交换口的两侧分别设置有置物盒和延伸工作板。本发明通过设置基板翘曲度检测机构,通过大导程滚珠丝杠副与增量式旋转编码器的组合,将压板的微小位移量直接转换为高精度的数字脉冲信号,实现了对基板平面度的精细化测量,使得原本不可见的翘曲形变变得可测量、可数据化,为后续的精准补偿提供基本数据基础,解决了因翘曲导致的Mark点对焦失败和对位偏差问题。
本发明授权DBC陶瓷覆铜基板专用曝光机在权利要求书中公布了:1.DBC陶瓷覆铜基板专用曝光机,其特征在于,包括: 机台1,所述机台1顶部设置有热交换散热端口2,所述机台1一侧固定连接有照明板3,所述照明板3的底部设置有LED灯板4,所述机台1对应照明板3一侧开设有台框交换口,所述台框交换口内设置有一对曝光台框5,所述台框交换口的两侧分别设置有置物盒6和延伸工作板7,所述台框交换口所处台面上设置有交互端口8和调节支架9,所述交互端口8上设置有急停开关10和台框前进开关11,所述调节支架9上设置有机台控制PC端12; 所述曝光台框5一侧铰接有密封盖板13,所述曝光台框5上设置有治具板,所述治具板上安装有专用治具板14,所述专用治具板14上开设有二行三列共计六个载板框15; 所述载板框15的两侧均设置有基板翘曲度检测机构,所述基板翘曲度检测机构包括设置于载板框15一侧的检测端口22,所述检测端口22内转动连接有一根双向丝杠23,所述双向丝杠23的两侧均螺纹连接有丝母24,所述丝母24一侧转动连接有拉杆25,两根所述拉杆25转动连接有检测板26,所述检测板26的底部固定连接有两根空心管27,两根所述空心管27上滑动连接有压板28,所述空心管27内转动连接有滚珠丝杠29,所述空心管27内设置有滚珠丝母30,所述滚珠丝母30与压板28固定连接,所述检测板26内设置有旋转编码器31,所述旋转编码器31的检测端与滚珠丝杠29连接,所述旋转编码器31内含光栅盘和光电遮断器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽陶芯科半导体新材料有限公司,其通讯地址为:245600 安徽省黄山市祁门县祁山镇祁门经济开发区电子产业园高新技术科创数据中心4#楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励