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龙图腾网获悉南京信息工程大学申请的专利一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120801756B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511289735.5，技术领域涉及：G01P15/093；该发明授权一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法是由李成;邓喆兮;袁榕;孙昊;陆强强;郭鑫设计研发完成，并于2025-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法，所述加速度计上层为玻璃基底自由空间光学敏感结构、下层为硅基水平轴MEMS敏感结构，上层结构通过键合工艺固定于下层结构之上。其中上层光学敏感结构由一对迈克尔逊干涉仪、一个玻璃锚点和一个玻璃质量块组成；下层MEMS敏感结构由四组悬臂梁、一个硅锚点和一个硅质量块组成。下层MEMS敏感结构将水平轴输入加速度转换为硅质量块位移，该位移同步传递至玻璃质量块，反向布置的一对迈克尔逊干涉仪将位移转换为干涉光相位的反向变换，从而实现加速度的高精度差分检测。本发明提出的微光学加速计方案具有检测灵敏度高、抗共模误差能力强、集成度高的突出优点。

本发明授权一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法在权利要求书中公布了：1.一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计，其特征在于，所述加速度计采用上层结构和下层结构相结合的双层键合结构方案，其中上层结构为玻璃基底自由空间光学敏感结构，下层结构为硅基水平轴MEMS敏感结构； 所述玻璃基底自由空间光学敏感结构包括第一迈克尔逊干涉仪3、第二迈克尔逊干涉仪4、玻璃锚点1和玻璃质量块2； 所述硅基水平轴MEMS敏感结构包括第一悬臂梁7、第二悬臂梁8、第三悬臂梁9、第四悬臂梁10、硅锚点5和硅质量块6； 所述玻璃基底自由空间光学敏感结构整体为矩形结构，其中玻璃质量块2位于上层结构的中心位置，用于将加速度量转换为位移量；所述玻璃质量块2为矩形结构，玻璃质量块2的左下、右下、左上、右上方分别开有矩形凹槽，用于释放第一悬臂梁7、第二悬臂梁8、第三悬臂梁9和第四悬臂梁10； 所述玻璃锚点1为环形，位于玻璃质量块2的外围； 所述玻璃锚点1和硅锚点5相键合，所述玻璃质量块2和硅质量块6相键合； 所述硅质量块6通过第一悬臂梁7、第二悬臂梁8、第三悬臂梁9、第四悬臂梁10连接至固定的硅锚点5，当有水平方向加速度信号a输入时，硅质量块6在第一悬臂梁7、第二悬臂梁8、第三悬臂梁9、第四悬臂梁10的支撑下产生水平位移，所述玻璃质量块2将同步产生相同的位移； 所述第一迈克尔逊干涉仪3包括第一激光器3-1、第一分光镜3-3、第一参考反射镜3-8、第一检测反射镜3-9和第一光电探测器3-11； 所述第二迈克尔逊干涉仪4包括第二激光器4-1、第二分光镜4-3、第二参考反射镜4-8、第二检测反射镜4-9和第二光电探测器4-11； 所述第一检测反射镜3-9、第二检测反射镜4-9分别布置于玻璃质量块2的左侧和右侧； 所述第一迈克尔逊干涉仪3、第二迈克尔逊干涉仪4分别位于上层结构的左侧上部、右侧下部位置，呈反向对称布置，用于实现加速度差分检测。

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