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龙图腾网获悉峰郅科技(上海)有限公司;上海市东方医院(同济大学附属东方医院)申请的专利一种便于冷却的化学气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120796944B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511310348.5，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种便于冷却的化学气相沉积设备是由王翔;周艺;潘伟荣设计研发完成，并于2025-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种便于冷却的化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种便于冷却的化学气相沉积设备，本发明涉及化学气相沉积设备技术领域。材料的温度较高时无法进行快速冷却，导致材料的温度较高，导致表面的致密膜层沉积效果降低，通过搅轮与导孔环配合，使弧形搅叶与导水环的通孔在导入冷却液体的过程中，使液体由通孔导出后冲击弧形搅叶，降低导出液体的流速，使液体进入流动空腔后的速度减缓，增加液体的吸热时间，同时弧形搅叶顶部与支撑盘底部之间间隙由内到外逐渐加大的特点，减小对外侧液体的带动力度，保证外侧的液体的顺利导出，为后续低温液体的顺利导出，与增加液体吸热时间配合，提高对支撑盘的冷却效果，保证对材料的冷却效果。

本发明授权一种便于冷却的化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种便于冷却的化学气相沉积设备，其特征在于，包括： 架体1，所述架体1的顶部固定安装有气泵4与液泵5，且所述架体1的顶部固定安装有气罐6与液箱7，所述架体1的顶部固定安装有侧槽板9，所述侧槽板9的外侧开设有滑槽，且所述侧槽板9在架体1的顶部对称安装，所述侧槽板9的外侧均固定安装有气缸8； 反应机构2，所述反应机构2安装在架体1的顶部，且所述反应机构2为化学气相沉积反应提供反应场所，所述反应机构2的内部固定安装有腔柱12； 导气机构3，所述导气机构3安装在反应机构2的内部； 所述腔柱12的顶部固定安装有空槽盘13，且所述空槽盘13底部的中心位置开设有圆槽，所述腔柱12的中心位置开设有导流空腔，且所述腔柱12的导流空腔与空槽盘13的圆槽相对应，所述空槽盘13的外侧均匀开设有空槽，且所述空槽盘13顶部的圆槽处固定安装有导孔环16，所述导孔环16外侧的底部均匀开设有通孔，所述空槽盘13的顶部固定安装有支撑盘14，所述支撑盘14的底部与空槽盘13的顶部之间形成冷却空腔，所述支撑盘14的底部与导孔环16的顶部紧密贴合，所述导孔环16外侧的顶部转动安装有搅轮15，所述搅轮15的外侧均匀安装有弧形搅叶，弧形搅叶的底部与空槽盘13内壁的底部紧密贴合，且弧形搅叶顶部与支撑盘14底部之间的间隙由内到外逐渐加大； 所述空槽盘13的底部均匀开设有回流孔，且回流孔连通空槽盘13与支撑盘14之间形成的冷却空腔，所述空槽盘13底部的回流孔处固定安装有内环罩17，所述内环罩17的底部固定安装有回流管10，所述回流管10远离内环罩17的一端贯穿反应机构2且与液箱7固定连接； 利用搅叶与支撑盘14底部间隙由内到外逐渐加大的特点，使弧形搅叶在转动时对外侧的冷却液带动力度较小，使外侧的冷却液在液泵5的驱动下快速由空槽盘13的回流孔导入内环罩17中，并通过回流管10再次回流到液箱7中。

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