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龙图腾网获悉泉州装备制造研究所申请的专利基于物理因果关系建模的半导体异常检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120781269B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511297727.5，技术领域涉及：G06F18/2433；该发明授权基于物理因果关系建模的半导体异常检测方法及系统是由王耀宗;黄腾凯;陈豪;陈松航;张剑铭;骆炜;戴玲凤;连明昌;王森林;钟浪设计研发完成，并于2025-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于物理因果关系建模的半导体异常检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造质量控制技术领域，具体涉及基于物理因果关系建模的半导体异常检测方法及系统，包括如下依次执行的步骤：S1：获取半导体生产线的多维传感器数据，基于刻蚀工艺物理机理，建立传感器因果关系模型；S2：沿因果关系路径进行时序对齐、异常传播建模和根因定位；S3：基于图注意力网络的自适应智能决策；本申请通过建立传感器间的物理因果关系模型，实现因果关系驱动的时序对齐和异常检测，并结合图注意力网络的自适应智能决策和预测式反馈优化，解决了现有技术中时序对齐精度不高、异常检测缺乏根因分析、系统决策不够智能等技术问题。

本发明授权基于物理因果关系建模的半导体异常检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.基于物理因果关系建模的半导体异常检测方法,其特征在于:包括如下依次执行的步骤： S1：获取半导体生产线的多维传感器数据，基于刻蚀工艺物理机理，建立传感器因果关系模型： 采用条件互信息验证该传感器因果关系模型中因果关系的数据支撑度： ； 其中，为传感器和传感器间的互信息，为传感器的信息熵，为在传感器数据的条件下，传感器的条件熵； 综合物理先验知识和数据验证结果构建传感器因果关系模型： ； 其中，为传感器到传感器的因果关系强度，为基于物理定律的因果先验概率，为时序因果验证系数，、和为权重平衡系数； S2：沿因果关系路径进行时序对齐、异常传播建模和根因定位，将因果关系约束融入时序对齐的目标函数中，计算异常从传感器传播到传感器的概率，采用贝叶斯推理方法定位异常根因； S3：计算传感器参与的所有因果关系的平均对齐质量和异常检测统计，融合传感器的因果关系、平均对齐质量和异常检测统计，构建传感器节点特征向量，采用图注意力机制计算传感器间的动态注意力权重，对每个注意力头计算注意力分数，采用LeakyReLU激活和softmax归一化得到单头注意力权重和多头注意力的平均权重，基于归一化的多头注意力的平均权重计算传感器重要性权重，根据传感器重要性权重自适应调整检测策略。

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