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龙图腾网获悉上海陛通半导体能源科技股份有限公司申请的专利兼容整区和分区的镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120776280B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511301265.X，技术领域涉及：C23C16/505；该发明授权兼容整区和分区的镀膜设备是由蔡军;宋维聪设计研发完成，并于2025-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本兼容整区和分区的镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种兼容整区和分区的镀膜设备，包括：气体分配盘，包括相互隔离的第一功能区域和第二功能区域；气体分配机构，包括基座和转动部，转动部可转动地设置于基座上；基座具有周向分布的第一出气口、第二出气口和第一进气口，其中，第一出气口与第一功能区域连通，第二出气口与第二功能区域连通；转动部具有第一连通道、第二连通道、第三连通道和第二进气口；第一连通道和第二连通道开设于第一出气口、第二出气口和第一进气口的同一周向位置上；第三连通道的一端与第一连通道连通，另一端与第二进气口连通；转动部用于通过相对于基座的转动，分配来自第一进气口和第二进气口的气体至第一出气口和第二出气口。

本发明授权兼容整区和分区的镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种兼容整区和分区的镀膜设备，其特征在于，包括： 气体分配盘，包括相互隔离的第一功能区域和第二功能区域； 气体分配机构，包括基座和转动部，所述转动部可转动地设置于所述基座上；所述基座具有周向分布的第一出气口、第二出气口和第一进气口，其中，所述第一出气口与所述第一功能区域连通，所述第二出气口与所述第二功能区域连通；所述转动部具有第一连通道、第二连通道、第三连通道和第二进气口；所述第一连通道和所述第二连通道开设于所述第一出气口、所述第二出气口和所述第一进气口的同一周向位置上；所述第三连通道的一端与所述第一连通道连通，另一端与所述第二进气口连通； 所述转动部用于通过相对于所述基座的转动，调节所述第一连通道与所述第一出气口、所述第二出气口的连通关系，以及调节所述第二连通道与所述第一出气口、所述第二出气口、第一进气口的连通关系，进而分配来自所述第一进气口和所述第二进气口的气体至所述第一出气口和所述第二出气口； 所述第一出气口与所述第二出气口之间，沿所述基座的周向方向所形成的圆心角为第一圆周角；所述第一出气口与所述第一进气口之间，沿所述基座的周向方向途经所述第二出气口所形成的圆心角为第二圆周角；所述第二圆周角大于所述第一圆周角； 所述第一连通道的周向延伸范围的圆周角不小于所述第一圆周角，所述第二连通道的周向延伸范围的圆周角不小于所述第二圆周角； 所述转动部转动至第一位置时，所述第二连通道同时与所述第一进气口和所述第二出气口连通，所述第一连通道与所述第一出气口连通； 所述转动部转动至第二位置时，所述第二连通道同时与所述第一进气口、所述第一出气口和所述第二出气口连通； 所述转动部转动至第三位置时，所述第一连通道同时与所述第一出气口和所述第二出气口连通；所述第二连通道与所述第一进气口连通； 所述转动部转动至第四位置时，所述第一连通道与所述第二出气口连通；所述第二连通道同时与所述第一进气口和所述第一出气口连通。

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