西安电子科技大学杭州研究院;西安电子科技大学张洪瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉西安电子科技大学杭州研究院;西安电子科技大学申请的专利一种通过微波处理降低HZO铁电电容漏电提升可靠性的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120769509B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511203565.4，技术领域涉及：H10D1/68；该发明授权一种通过微波处理降低HZO铁电电容漏电提升可靠性的方法是由张洪瑞;陈佳佳;潘炜文;王迪;韩根全设计研发完成，并于2025-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种通过微波处理降低HZO铁电电容漏电提升可靠性的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种通过微波处理降低HZO铁电电容漏电提升可靠性的方法，在检测到HZO铁电电容漏电增大后，采用如下的方法降低HZO铁电电容的漏电，所述方法包括如下步骤：第一步：对HZO铁电电容施加一定电压和频率的循环电压；第二步：施加完循环电压后进行一定时间、功率和频率的微波处理；本发明中的微波处理可以有效降低铁电电容在施加电压循环后的漏电；随着微波时间的延长，铁电电容在施加电压循环后的漏电逐渐降低；本方法创新性的提出通过微波调控氧空位进行再分布，可以在漏电流已经增大之后将漏电流降低，且不会产生新的缺陷，有效降低漏电避免其击穿。
本发明授权一种通过微波处理降低HZO铁电电容漏电提升可靠性的方法在权利要求书中公布了：1.一种通过微波处理降低HZO铁电电容漏电提升可靠性的方法，其特征在于，在检测到HZO铁电电容漏电增大后，采用如下的方法降低HZO铁电电容的漏电，所述方法包括如下步骤： 第一步：对HZO铁电电容施加一定电压和频率的循环电压； 第二步：施加完循环电压后进行一定时间、功率和频率的微波处理； 所述循环电压的电压幅度为±2V～±3V； 所述循环电压的频率为1kHz～100kHz。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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