之江实验室刘冠东获国家专利权
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龙图腾网获悉之江实验室申请的专利垂直微镜结构的光计算芯片及其晶圆级智能制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120751758B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511187709.1，技术领域涉及：H10D84/00；该发明授权垂直微镜结构的光计算芯片及其晶圆级智能制造方法是由刘冠东;余炜;张富军;朱洪力;穆堂杰;胡辰;洪悦;徐晨设计研发完成，并于2025-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本垂直微镜结构的光计算芯片及其晶圆级智能制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了垂直微镜结构的光计算芯片及其晶圆级智能制造方法，该光计算芯片包括若干光调制器和若干量子逻辑门，基于垂直微镜设置光调制器中的干涉光路，从而实现光调制；量子逻辑门通过垂直微镜设置的反射镜构建稳定光路，利用分束器实现干涉，并由目标光路入口或出口的波片执行哈达玛变换，从而实现光计算；采用深沟槽分束器或深墙分束器作为分束器，深墙分束器中硅墙垂直于衬底的两个侧壁设置成预定夹角，深沟槽分束器通过如下方式制造：在单晶硅晶圆的表面进行光刻出深沟槽的图形；用深刻蚀方法刻出具有预定角度的深沟槽并进行侧壁平滑；在深沟槽中沉积光学薄膜；光刻并深刻蚀出深沟槽分束器的外形并侧壁平滑；在垂直侧壁生长光学增透膜。
本发明授权垂直微镜结构的光计算芯片及其晶圆级智能制造方法在权利要求书中公布了：1.垂直微镜结构的光计算芯片，其特征在于，包括若干光调制器和若干量子逻辑门，基于垂直微镜设置所述光调制器中的干涉光路，从而实现光调制；所述量子逻辑门通过垂直微镜设置的反射镜构建稳定光路，利用分束器实现干涉，并由目标光路入口或出口的波片执行哈达玛变换，从而实现光计算； 所述量子逻辑门中采用深沟槽分束器或深墙分束器作为所述分束器，所述深墙分束器中硅墙垂直于衬底的两个侧壁设置成预定夹角，所述深沟槽分束器通过如下方式制造：在单晶硅晶圆的表面进行光刻出深沟槽的图形；用深刻蚀方法刻出具有预定角度的深沟槽并进行侧壁平滑；在所述深沟槽中沉积光学薄膜；光刻并深刻蚀出深沟槽分束器的外形并侧壁平滑；在垂直侧壁生长光学增透膜。
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