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龙图腾网获悉深圳飞骧科技股份有限公司申请的专利滤波器及其修频方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120729212B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511228798.X，技术领域涉及：H03H3/10；该发明授权滤波器及其修频方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本滤波器及其修频方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种滤波器及其修频方法，其中，所述方法包括：对带有滤波器图案的晶圆的表面进行二氧化硅沉积形成修频层；对表面形成修频层的晶圆进行第一次探针测试；对所述修频层进行减薄以完成第一次修频；对第一修频后的所述晶圆进行第二次探针测试；对第一次修频后的所述晶圆依次进行匀胶、曝光以及显影；对第一次修频后的晶圆上的滤波器的串联谐振器所对应区域的所述修频层进行减薄以完成第二次修频；剥离经第二次修频后的晶圆上覆盖在所述并联谐振器表面的所述光刻胶。该滤波器修频方法可以使滤波器在修频后不会引起带宽变化，从而保证滤波器在生产时批次与批次之间的带宽一致。

本发明授权滤波器及其修频方法在权利要求书中公布了：1.一种滤波器修频方法，其特征在于，所述滤波器修频方法包括以下步骤： 步骤S1、对带有滤波器图案的晶圆的表面进行二氧化硅沉积形成修频层；所述修频层的厚度为小于或等于100nm； 步骤S2、对表面形成修频层的晶圆进行第一次探针测试，得到第一测试数据；所述第一测试数据包括晶圆上的滤波器的第一实测左边频率； 步骤S3、根据目标数据的目标左边频率与所述第一实测左边频率的差异，对所述修频层进行减薄以完成第一次修频；所述目标数据包括目标滤波器的所述目标左边频率以及目标右边频率；所述第一次修频使得所述晶圆上的滤波器的左边频率与所述目标左边频率对齐； 步骤S4、对第一修频后的所述晶圆进行第二次探针测试，得到第二测试数据；第二探针测试时对晶圆的扎针位置与第一次探针测试时对晶圆的扎针位置相同，所述第二测试数据包括第一次修频后晶圆上的滤波器的第二实测左边频率以及第二实测右边频率； 步骤S5、在所述第二实测左边频率与所述目标左边频率对齐后，对第一次修频后的所述晶圆依次进行匀胶、曝光以及显影，并使得第一次修频后的晶圆上的滤波器的并联谐振器的表面被光刻胶完全覆盖；所述匀胶为对第一次修频后的所述晶圆的表面涂覆光刻胶： 步骤S6、固化覆盖在所述并联谐振器表面的光刻胶，并根据所述目标右边频率与所述第二实测右边频率的差异，对第一次修频后的晶圆上的滤波器的串联谐振器所对应区域的所述修频层进行减薄以完成第二次修频；所述第二次修频使得所述晶圆上的滤波器的右边频率与所述目标右边频率对齐； 步骤S7、在第二次修频后的晶圆上的滤波器的右边频率与所述目标右边频率对齐后，剥离经第二次修频后的晶圆上覆盖在所述并联谐振器表面的所述光刻胶。

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