上海芯上微装科技股份有限公司茅雁获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯上微装科技股份有限公司申请的专利基于衍射的套刻标记测量装置、方法及测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120722676B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511171483.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权基于衍射的套刻标记测量装置、方法及测量系统是由茅雁;蓝科;周钰颖;贾婷媛设计研发完成，并于2025-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于衍射的套刻标记测量装置、方法及测量系统在说明书摘要公布了：提供一种基于衍射的套刻标记测量装置、方法及测量系统，该装置包括光源、照明模块、工件台以及探测模块，该照明模块包括照明光纤和照明单元，照明光纤用于将光源导入照明单元，照明单元用于生成入射光束；工件台用于承载晶圆及带动晶圆运动，该晶圆上形成有套刻标记，入射光束入射至套刻标记上发生衍射；该探测模块包括至少4个探测单元，分别探测第一方向和第二方向的正负级次衍射光，每个探测单元包括汇聚镜、自适应调整机构、探测光纤和探测器阵列，该自适应调整机构带动汇聚镜及探测光纤运动，根据不同类型的套刻标记进行自适应调整以收集不同角度的衍射光，探测器阵列探测不同角度的衍射光。实现了大角度范围的衍射光收集，提高工艺适应性。
本发明授权基于衍射的套刻标记测量装置、方法及测量系统在权利要求书中公布了：1.一种基于衍射的套刻标记测量装置，其特征在于，包括光源、照明模块、工件台以及探测模块，其中： 所述光源用于提供不同波长的光束； 所述照明模块包括照明光纤和照明单元，所述照明光纤用于将所述光源导入所述照明单元，所述照明单元用于生成入射光束； 所述工件台用于承载晶圆及带动所述晶圆运动，所述晶圆上形成有套刻标记，所述入射光束入射至所述套刻标记上发生衍射； 所述探测模块包括至少4个探测单元，用于分别探测第一方向和第二方向的正负级次衍射光，其中，每个探测单元包括汇聚镜、自适应调整机构、探测光纤和探测器阵列，所述自适应调整机构带动所述汇聚镜及所述探测光纤运动，并根据不同类型的套刻标记进行自适应调整以收集不同角度的衍射光，所述探测器阵列探测所述不同角度的衍射光，所述自适应调整机构根据所述探测器阵列探测到的衍射信号强度反馈调整探测位置。
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