秦皇岛微晶科技有限公司;河南微米光学科技有限公司周方获国家专利权
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龙图腾网获悉秦皇岛微晶科技有限公司;河南微米光学科技有限公司申请的专利一种晶体轮廓测量装置及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120721023B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511157780.5,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种晶体轮廓测量装置及测量方法是由周方;彭明林;周松松;韩世昌;周超设计研发完成,并于2025-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶体轮廓测量装置及测量方法在说明书摘要公布了:本发明涉及轮廓检测设备技术领域,公开了一种晶体轮廓测量装置及测量方法,包括横向移动的载体,载体前侧横向滑动设置有由弹性件支撑的补偿座,补偿座上转动安装有齿轮,载体前侧横向设置有与齿轮啮合的齿条,齿轮前侧安装有枢转座,枢转座一端安装探针,枢转座另一端通过下侧通过牵引绳连接有磁体,磁体外侧设有供磁体竖向移动的金属管;载体带动探针沿晶体表面移动,当探针卡位受阻后,使补偿座压缩弹性件移动,齿轮通过与齿条的配合使探针向上翻转,从而越过晶体表面的凹槽;通过磁体与金属管的配合,提供探针陡降阻力,减缓探针陡降冲击;本发明能够顺利进出凹槽,保护探针和晶体,实现连续测量,保障测量效率、改善测量结果。
本发明授权一种晶体轮廓测量装置及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种晶体轮廓测量装置,其特征在于,包括横向移动的载体1,载体1前侧横向滑动设置有由弹性件支撑的补偿座2,所述补偿座2上转动安装有齿轮3,所述载体1前侧横向设置有与齿轮3啮合的齿条4,所述齿轮3前侧安装有枢转座5,所述枢转座5一端安装探针6,所述枢转座5另一端通过下侧通过牵引绳25连接有磁体7,所述磁体7外侧设有供磁体7竖向移动的金属管8; 所述枢转座5中部通过十字弹簧轴承12与所述齿轮3连接;所述枢转座5后侧设有随枢转座5同心同步转动的圆盘13,所述圆盘13边缘设有向远离自身中心方向延伸的凸起14,所述齿轮3前侧设有与凸起14回转对应的档杆15。
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