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龙图腾网获悉江苏派莱特光电科技有限公司申请的专利一种用于磁控溅射镀膜机的工件烘烤加热装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120700455B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511230643.X，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种用于磁控溅射镀膜机的工件烘烤加热装置是由刘年生;唐欢欢;朱嘉琦;王凯;杨磊;高岗;李明;马帅;朱九菊设计研发完成，并于2025-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于磁控溅射镀膜机的工件烘烤加热装置在说明书摘要公布了：本发明涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，具体为一种用于磁控溅射镀膜机的工件烘烤加热装置，包括磁控溅射镀膜机和镀膜密封门，所述磁控溅射镀膜机内部设置有镀膜腔室。本发明通过工件放置组件中定位电缸驱动的侧定位架、电动滑台调节的校正架，以及二者配合的电永磁吸盘，可实现不同尺寸、形状工件的自动化精准定位，无需更换专用夹具，显著提升工件定位适配性；同时，工件烘烤腔底部呈矩形阵列分布且独立控温的红外加热单元，能根据工件尺寸选择性启用对应加热单元，并结合热电偶实时监测动态调整功率，确保工件各区域受热均匀，保障工件不同位置除气效果一致，为后续镀膜提供高质量基底，避免因加热不均导致的膜层结合力下降或致密性缺陷。

本发明授权一种用于磁控溅射镀膜机的工件烘烤加热装置在权利要求书中公布了：1.一种用于磁控溅射镀膜机的工件烘烤加热装置，包括磁控溅射镀膜机1和镀膜密封门2，其特征在于：所述磁控溅射镀膜机1内部设置有镀膜腔室，镀膜腔室中部固定设置有固定架4，固定架4内部活动设置有工件放置组件3；镀膜腔室上方活动设置有烘烤加热盖板6，磁控溅射镀膜机1顶部两侧固定设置有控制伺服电缸5，控制伺服电缸5的驱动轴底端与烘烤加热盖板6顶部固定连接；磁控溅射镀膜机1顶部前后侧分别固定设置有进气管7和出气管8，进气管7和出气管8底端延伸至烘烤加热盖板6底部，且进气管7和出气管8均采用弹簧柔性管；所述烘烤加热盖板6内部接正极，工件放置组件3的内部夹具结构接负偏压，进气管7向烘烤加热腔内部通入氩气，出气管8控制烘烤加热腔内部压强在1-10MPa； 所述工件放置组件3包括工件放置架9，工件放置架9两侧设置有滑动凸块25，固定架4内部两侧活动设置有两个活动卡块27，滑动凸块25位于两侧的上下两个活动卡块27之间滑动设置；固定架4内部两侧固定设置有两个伸缩电缸26，伸缩电缸26驱动轴一端与活动卡块27一侧固定连接，所述工件放置架9顶部设置有工件烘烤腔16，工件烘烤腔16内部两侧固定设置有定位电缸14，工件烘烤腔16内部两侧滑动设置有侧定位架10，定位电缸14驱动端与侧定位架10一侧固定连接；侧定位架10相对一侧通过电动滑台滑动设置有两个校正架11，侧定位架10相对一侧中部固定设置有固定支撑架12；校正架11和固定支撑架12内部均设置有静电吸盘13； 所述工件烘烤腔16内壁底部固定设置有若干个红外加热单元15，红外加热单元15呈矩形阵列式分布；红外加热单元15采用陶瓷红外发热体和热电偶构成，每个陶瓷红外发热体独立控温。

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