买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利一种具有晶圆夹持组件的干燥装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120674355B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511163927.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种具有晶圆夹持组件的干燥装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有晶圆夹持组件的干燥装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种具有晶圆夹持组件的干燥装置，包括集水座；夹持组件，包括相互连接的支撑件和夹持件，支撑件转动设置于集水座内，并用于放置晶圆，夹持件转动设置于支撑件，并能够在夹持晶圆的夹持位置和脱离晶圆的解锁位置之间移动；防水罩，位于夹持组件的外周，防水罩相对集水座滑动设置，防水罩被构造为与夹持件抵接时，夹持件处于解锁位置，防水罩脱离夹持件时，夹持件在夹持驱动件的作用下处于夹持位置，其中，夹持驱动件设于夹持件与支撑件之间。本申请的具有晶圆夹持组件的干燥装置能够在防水罩脱离后稳定保持夹持状态，避免稳定性不足问题，减少零件数量，降低设备复杂度，降低制造成本。

本发明授权一种具有晶圆夹持组件的干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种具有晶圆夹持组件的干燥装置，其特征在于，包括： 集水座，所述集水座具有容纳腔； 夹持组件，所述夹持组件包括相互连接的支撑件和夹持件，所述支撑件转动设置于所述集水座内，并用于放置所述晶圆，所述夹持件转动设置于所述支撑件，并能够在夹持所述晶圆的夹持位置和脱离所述晶圆的解锁位置之间移动； 防水罩，所述防水罩位于所述夹持组件的外周，所述防水罩相对所述集水座滑动设置，并且，所述防水罩被构造为与所述夹持件抵接时，所述夹持件处于所述解锁位置，所述防水罩脱离所述夹持件时，所述夹持件在夹持驱动件的作用下处于所述夹持位置，其中，所述夹持驱动件位于所述夹持件与所述支撑件之间； 所述夹持件上设有补偿孔，以使所述夹持件的转动中心与所述夹持件的重心位于同一位置； 所述支撑件包括旋转盘，所述旋转盘沿其旋转中心的周向设有多个延伸部，所述延伸部远离所述旋转中心的一侧设有驱动件安装孔，所述驱动件安装孔内设置有顶杆，所述夹持驱动件设置于所述顶杆和所述驱动件安装孔之间，且所述夹持驱动件的作用力用于将所述顶杆顶向所述夹持件，以使所述夹持件保持于所述夹持位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏元夫半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区长江南路25号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。