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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;合肥至汇半导体应用技术有限公司申请的专利一种晶圆分段式流场清洗系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496849B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210038870.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆分段式流场清洗系统是由廖世保;徐铭;邓信甫设计研发完成，并于2022-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆分段式流场清洗系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆分段式流场清洗系统，包括晶圆清洗槽、氮气加热装置、异丙醇加热装、混合装置及缓冲回流装置，所述氮气加热装置连接氮气输送管道，所述异丙醇加热装置连接异丙醇输送管道，所述晶圆清洗槽的顶部设置有上盖舱体，所述氮气输送管道、所述异丙醇输送管道与上盖舱体连通，所述混合装置用于混合异丙醇与氮气，所述混合装置与所述缓冲回流装置通过循环管路连通用于实现异丙醇的供应回流与输出，所述晶圆清洗槽的内部承载有晶圆，所述晶圆清洗槽的底部设置有液体排放口与气体排放口。本发明在混合装置内设置加热装置控制异丙醇与氮气混合物的浓度，进而提升干燥效率，增强了混合物的张力，保证了水分子能够有效的移除晶圆的表面。

本发明授权一种晶圆分段式流场清洗系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆分段式流场清洗系统，其特征在于，包括晶圆清洗槽、氮气加热装置、异丙醇加热装置、混合装置及缓冲回流装置，所述氮气加热装置连接氮气输送管道，所述异丙醇加热装置连接异丙醇输送管道，所述晶圆清洗槽的顶部设置有上盖舱体，所述氮气输送管道、所述异丙醇输送管道与所述上盖舱体连通，所述混合装置用于混合异丙醇与氮气，所述混合装置与所述缓冲回流装置通过循环管路连通用于实现异丙醇的供应回流与输出，所述晶圆清洗槽的内部承载有晶圆，所述晶圆清洗槽的底部设置有液体排放口与气体排放口；所述晶圆清洗槽内设置有摆动机构，所述摆动机构包括驱动电机、滑动轨道、滑动块、轴接轨道及摆动臂，所述滑动轨道与所述轴接轨道平行设置，所述滑动轨道位于所述轴接轨道的上方，所述滑动块滑动安装于所述滑动轨道上，所述驱动电机用于控制所述滑动块在所述滑动轨道上进行往复运动，所述摆动臂至少设置为两个，所述摆动臂包括平行设置的第一支臂与第二支臂，所述第一支臂的上部沿长度方向设置有滑动槽，所述滑动块上对应安装有滑动轮，所述滑动轮安装于所述滑动槽内，所述第一支臂的下端与所述轴接轨道上的连接点轴安装，所述第二支臂的下端设置有晶圆承载区。

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