中国科学院化学研究所杨士勇获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院化学研究所申请的专利一种化学增幅型负性聚酰亚胺光刻胶及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114488690B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210127932.7,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权一种化学增幅型负性聚酰亚胺光刻胶及其制备方法与应用是由杨士勇;王立哲;贾斌;曹雪媛;孙朝景设计研发完成,并于2022-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学增幅型负性聚酰亚胺光刻胶及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种化学增幅型负性聚酰亚胺光刻胶及其制备方法与应用。本发明化学增幅型负性聚酰亚胺光刻胶,为下述1或2:1由聚酰亚胺前驱体固体树脂、光产酸剂、光交联剂和有机溶剂组成;2由聚酰亚胺前驱体固体树脂、光产酸剂、光交联剂、功能助剂和有机溶剂组成;所述功能助剂为光敏促进剂、助黏剂和抑制剂中的至少一种;所述抑制剂为热聚合抑制剂和或碱性抑制剂;所述聚酰亚胺前驱体固体树脂由芳香族二酰氯二酯、芳香族二胺和封端剂制成;所述芳香族二酰氯二酯由芳香族二酸二酯和酰氯化试剂制成;所述芳香族二酸二酯由芳香族四酸二酐和低级脂肪醇制成。
本发明授权一种化学增幅型负性聚酰亚胺光刻胶及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种化学增幅型负性聚酰亚胺光刻胶,由聚酰亚胺前驱体固体树脂、光产酸剂、光交联剂、功能助剂和有机溶剂组成;所述功能助剂为如下任一种:1光敏促进剂;2光敏促进剂和助黏剂;3光敏促进剂和抑制剂;4光敏促进剂、助黏剂和抑制剂;所述抑制剂为热聚合抑制剂和或碱性抑制剂; 所述聚酰亚胺前驱体固体树脂由芳香族二酰氯二酯、芳香族二胺和封端剂制成;所述芳香族二酰氯二酯由芳香族二酸二酯和酰氯化试剂制成;所述芳香族二酸二酯由芳香族四酸二酐和低级脂肪醇制成; 所述低级脂肪醇为甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、正丁醇和叔丁醇中的至少一种; 所述芳香族四酸二酐为均苯四酸二酐、3,3',4,4'-联苯四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯醚四酸二酐、3,3',4,4'-二苯甲酮四酸二酐、3,3',4,4'-二苯砜四酸二酐、2,2-双3,4-邻苯二甲酸二酐丙烷和2,2-双3,4-邻苯二甲酸二酐-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷中的至少一种; 所述芳香族二胺为对苯二胺、4,4-二胺基二苯醚、3,4-二胺基二苯醚、1,4-双4-氨基苯氧基-苯、2,2-双4-氨基苯基丙烷、2,2-双[4-4-氨基苯氧基苯基]丙烷、2,2-双4-氨基苯基六氟丙烷、2,2-双[4-4-氨基苯氧基苯基]六氟丙烷、2,2'-双三氟甲基二氨基联苯、1,3-双3-氨丙基四甲基二硅氧烷、1,3-双3-氨丙基四苯基二硅氧烷、1,3-双3-氨基苯氧基四甲基二硅氧烷和1,3-双4-氨基苯氧基四甲基二硅氧烷中的至少一种; 所述光敏促进剂为9,10-二苯基蒽、9-蒽甲醛、蒽-9,10-二甲醛、9,10-二乙氧基蒽、黄决明素、9,10-双苯基乙炔基-2-乙基蒽、2-叔-丁基-9,10-二萘-2-基蒽、9,10-二甲基蒽、9,10-二1-萘基蒽、9,10-二2-萘基蒽、9,10-二丁氧基蒽、2-乙基蒽醌和2-异丙基硫杂蒽酮中的至少一种。
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