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龙图腾网获悉深圳市轴心自控技术有限公司申请的专利一种在线式大气等离子晶圆清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114446849B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210007988.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种在线式大气等离子晶圆清洗设备是由高友浪;张翔;杨恒;李钟玲设计研发完成，并于2022-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种在线式大气等离子晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种在线式大气等离子晶圆清洗设备，包括清洗框架和设置于所述清洗框架内的供料机构、搬运机构、识别定位机构、清洗机构、密封机构、三轴移送机构和清洗工作台，所述供料机构、搬运机构、识别定位机构均设置于所述清洗框架的前端，所述搬运机构设置于所述清洗框架的前端左侧，所述识别定位机构设置于所述清洗框架的前端右侧，所述密封机构设置于所述清洗框架的后端；本发明能够同时实现裸晶圆或者背膜晶圆的清洗工作，通过在线自动充气，随时保持清洗环境处于低氧环境下，大大节省空气置换等待时间，通过设置清洗框架、密封机构和清洗工作台，使清洗环境处于无尘等级，完全替代人工操作，具有良好的市场应用价值。

本发明授权一种在线式大气等离子晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种在线式大气等离子晶圆清洗设备，其特征在于，包括清洗框架和设置于所述清洗框架内的供料机构、搬运机构、识别定位机构、清洗机构、密封机构、三轴移送机构和清洗工作台，所述供料机构、搬运机构、识别定位机构均设置于所述清洗框架的前端，所述供料机构设置于所述清洗框架的前端中间外部，所述搬运机构设置于所述清洗框架的前端左侧，所述识别定位机构设置于所述清洗框架的前端右侧，所述密封机构设置于所述清洗框架的后端，所述三轴移送机构、清洗工作台和清洗机构均设置于所述密封机构内部，所述三轴移送机构设置于所述密封机构的下部，所述清洗工作台设置于所述三轴移送机构的工作端，所述清洗机构竖直设置于所述密封机构的顶部内部，所述密封机构的前端中间位置还设置有用于进料和隔断外界的密封组件； 所述清洗框架包括框架本体、风机过滤单元和天车传感器，所述风机过滤单元设置于所述框架本体的前端顶部，所述天车传感器设置于所述框架本体的前端顶部外壁； 所述供料机构包括裸晶圆开合设备、裸晶圆载具、背膜晶圆开合设备和背膜晶圆载具，所述裸晶圆开合设备和所述背膜晶圆开合设备并列设置于所述清洗框架的前端，所述裸晶圆载具设置于所述裸晶圆开合设备上，所述背膜晶圆载具设置于所述背膜晶圆开合设备上； 所述搬运机构包括搬运机架、横向直线电机滑台和搬运机器人，所述横向直线电机滑台为两个，两个横向直线电机滑台纵向平行设置于所述清洗框架上，所述搬运机架设置于两个横向直线电机滑台上，所述搬运机器人设置于所述搬运机架上，所述搬运机器人设置有两个机械臂，两个机械臂的前端分别设置有用于搬运晶圆的裸晶圆夹具和背膜晶圆夹具，裸晶圆夹具和背膜晶圆夹具均可拆卸安装于两个机械臂的前端； 所述识别定位机构包括裸晶圆识别部和背膜晶圆识别部，所述裸晶圆识别部设置于所述清洗框架内，所述背膜晶圆识别部设置于所述裸晶圆识别部的上方，所述裸晶圆识别部包括底板和设置于所述底板上的DD马达、旋转台、线激光和裸晶圆扫码枪，所述底板设置于所述清洗框架上，所述DD马达设置于所述底板的中间位置，所述旋转台设置于所述DD马达上，所述线激光和裸晶圆扫码枪均竖直设置于所述DD马达的侧部，所述旋转台内部设置有用于吸附产品气动吸盘；所述背膜晶圆识别部包括支撑架、放置台、夹持组件和背膜晶圆扫码枪，所述支撑架竖直设置于所述底板上，所述放置台设置于所述支撑架上，所述夹持组件设置于所述放置台的中间位置，所述背膜晶圆扫码枪设置于所述放置台的侧部； 所述密封机构包括密封箱体、排气管道、密封上盖和密封组件，所述排气管道设置于所述密封箱体的底部，所述密封上盖设置于所述密封箱体的上部，所述密封组件设置于所述密封箱体的前端中间位置，所述密封箱体上还设置有用于补充气体的充气接头。

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