应用材料公司阿萨夫·施勒岑杰获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利输送机检查系统、基板旋转器和具有前述项的测试系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114365272B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080061453.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权输送机检查系统、基板旋转器和具有前述项的测试系统是由阿萨夫·施勒岑杰;马库斯·J·施托佩尔设计研发完成，并于2020-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本输送机检查系统、基板旋转器和具有前述项的测试系统在说明书摘要公布了：本文中公开的实施方式包括一种基板旋转器、一种基板边缘计量系统和一种在基板上执行计量的方法。所述基板旋转器包括主体、与所述主体耦接并且被配置成使所述主体旋转的主体致动器和与所述主体耦接的第一夹持器和第二夹持器。所述基板旋转器被配置成使一个或多个基板旋转。所述基板边缘计量系统包括两个计量系统和所述基板旋转器。所述基板边缘计量系统测量在基板的所有侧面上的侧面缺口或其他缺陷。所述方法包括在所述第一基板的第一组侧面上执行计量，使所述第一基板旋转第一角度，和在所述第一基板的第二组侧面上执行计量。所述方法允许测量在所述基板的所有侧面上的侧面缺口或其他缺陷。
本发明授权输送机检查系统、基板旋转器和具有前述项的测试系统在权利要求书中公布了：1.一种基板旋转器，包括： 主体，所述主体具有第一端部和第二端部； 主体致动器，所述主体致动器在所述第一端部和所述第二端部之间与所述主体耦接并且被配置成使所述主体旋转； 第一夹持器，所述第一夹持器与所述第一端部耦接，所述第一夹持器被配置成响应于所述主体的180度旋转而旋转第一旋转，所述第一夹持器被配置成使被保持在所述第一夹持器中的第一基板旋转所述第一旋转；和 第二夹持器，所述第二夹持器与所述第二端部耦接，所述第二夹持器被配置成响应于所述主体的180度旋转而旋转第二旋转，所述第二夹持器被配置成使被所述第二夹持器保持的第二基板旋转所述第二旋转，其中： 所述第二旋转的绝对值大于所述第一旋转； 所述第一夹持器被配置成真空夹持所述第一基板并且所述第二夹持器被配置成真空夹持所述第二基板；和 所述第一夹持器被配置成当所述第一基板至少部分地与所述第二基板重叠时拾取所述第一基板。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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