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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利制程信息提示系统、制程错误推定系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114245933B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980099384.8，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权制程信息提示系统、制程错误推定系统是由早川功一;高野正干;植田和弘;石川昌义;吉田泰浩设计研发完成，并于2019-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本制程信息提示系统、制程错误推定系统在说明书摘要公布了：本发明的目的在于提供一种能够推定制程错误的原因并且提示该制程错误的修正候补的系统。本发明的制程信息提示系统或制程错误推定系统使学习器学习制程与起因于该制程的错误之间的对应关系，从所述学习器取得针对在使用了新的所述制程时是否发生错误的推定结果参照图1。

本发明授权制程信息提示系统、制程错误推定系统在权利要求书中公布了：1.一种制程信息提示系统，提示规定半导体检查装置实施的检查动作的制程或与该制程相关的信息，其特征在于， 所述制程信息提示系统具有：计算机系统，其对成为在所述半导体检查装置中产生的错误的原因的所述制程进行推定， 所述计算机系统具有：学习器，其通过机器学习来学习在所述半导体检查装置实施所述检查动作时使用的所述制程、与起因于该制程而产生的所述错误之间的对应关系， 所述计算机系统在所述学习器完成了所述机器学习之后，对所述学习器投入新的所述制程，由此，取得针对在所述半导体检查装置使用了所述新的制程时是否发生所述错误的推定结果作为所述学习器的输出， 所述计算机系统在从所述学习器取得了通过所述新的制程产生所述错误的意思的推定结果的情况下，反复进行修正所述新的制程并对所述学习器再投入，直到得到未产生所述错误的意思的推定结果， 所述计算机系统将通过所述反复而获得的所述制程或与该制程相关的信息提示为所述半导体检查装置应使用的制程或信息， 所述制程记述用于规定所述检查动作的1个以上的制程参数， 所述计算机系统具有：制程修正建议部，其通过实施所述反复，提示针对产生所述错误的所述制程的修正建议， 作为所述修正建议，所述制程修正建议部将所述半导体检查装置应使用的所述制程参数作为修正候补参数进行提示，并且提示所述修正候补参数的修正量， 所述学习器还具有：解析器，其计算各所述制程参数对于所述错误的贡献度， 对于一部分或全部的所述制程参数，所述制程修正建议部按照所述贡献度的降序计算修正量。

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