盛合晶微半导体(江阴)有限公司曹磊获国家专利权
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龙图腾网获悉盛合晶微半导体(江阴)有限公司申请的专利晶圆检测真空保护装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223552499U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423133798.5，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型晶圆检测真空保护装置是由曹磊;夏斌设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆检测真空保护装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆检测真空保护装置，包括检测机台、主管路、压力检测器、支管、真空泵启停控制器、真空泵、真空罐、及总管路；显微镜真空管通过主管路与总管路连接，压力检测器连接在主管路上，主管路设有第一单向阀；真空泵启停控制器分别与压力检测器和真空泵电连接；真空罐与真空泵连接。本实用新型的优点在于：两个单向阀控制气体流向，防止检测机台到主管路及真空罐存在气密性问题，避免管路中负压绝对值变小；压力检测器实时监测主管路中的负压值，真空泵根据检测值启停，从而辅助总管路向检测机台给压，确保显微镜真空管中的负压始终保持稳定范围，避免晶圆处于悬空检查状态时，由于负压不稳定而掉落破片。
本实用新型晶圆检测真空保护装置在权利要求书中公布了：1.晶圆检测真空保护装置，其特征在于，包括检测机台、主管路、压力检测器、支管、真空泵启停控制器、真空泵、真空罐、及总管路； 所述检测机台连接有显微镜真空管，所述显微镜真空管通过所述主管路与所述总管路连接，所述压力检测器连接在所述主管路上，所述主管路设有第一单向阀； 所述真空泵启停控制器分别与所述压力检测器和所述真空泵电连接；所述真空罐与所述真空泵连接，所述真空罐通过所述支管与所述显微镜真空管连接，所述支管设有第二单向阀。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛合晶微半导体(江阴)有限公司，其通讯地址为：214437 江苏省无锡市江阴市东盛西路9号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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