湖北第二师范学院刘吉康获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北第二师范学院申请的专利利用Hybrid Bonding和FOWLP技术制备晶圆级系统封装芯片的结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223552498U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422642174.X,技术领域涉及:H01L21/60;该实用新型利用Hybrid Bonding和FOWLP技术制备晶圆级系统封装芯片的结构是由刘吉康;李莎;李杰;刘秀峰;蔡新添;戴楚;王怀兴;王筠;刘姜涛设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用Hybrid Bonding和FOWLP技术制备晶圆级系统封装芯片的结构在说明书摘要公布了:利用HybridBonding和FOWLP技术制备晶圆级系统封装芯片结构,包括晶圆级CIS芯片、硅基承载片、晶圆级CID芯片;晶圆级CIS芯片正面设有粘贴膜层和玻璃层;在晶圆级CIS芯片背面进行减薄处理并形成非键合层;在晶圆级CIS芯片背面设置导电通孔结构;在晶圆级CIS芯片背面设置导电结构;在硅基承载片上设置导电通孔结构;在硅基承载片上设置导电结构;将晶圆级CID芯片和硅基承载片键合在一起,并减薄形成凹槽结构,在其内粘贴第二类芯片;在键合后晶圆上设置第一层绝缘层,在其上设置第一层金属重布线层;在键合后晶圆上设置第二层绝缘层,并设置第二层金属重布线层;在第二层金属重布线层上植球;切割得到单颗Die。该封装结构实现能极大的提高封装效率,显著降低加工成本。
本实用新型利用Hybrid Bonding和FOWLP技术制备晶圆级系统封装芯片的结构在权利要求书中公布了:1.一种利用HybridBonding和FOWLP技术制备晶圆级系统封装芯片结构,其特征在于,包括晶圆级CIS芯片、硅基承载片、晶圆级CID芯片;所述晶圆级CIS芯片正面设有粘贴膜层和玻璃层; 在晶圆级CIS芯片背面进行减薄处理并形成非键合层;在晶圆级CIS芯片背面设置导电通孔结构;在晶圆级CIS芯片背面设置导电结构;在硅基承载片上设置非键合层;在硅基承载片上设置导电通孔结构;在硅基承载片上设置导电结构;将晶圆级CID芯片和硅基承载片键合在一起;在键合后硅基承载片背面进行减薄并形成凹槽结构;在键合片凹槽结构内粘贴第二类芯片;在键合后晶圆上设置第一层绝缘层;在键合后晶圆上设置第一层金属重布线层;在键合后晶圆上设置第二层绝缘层;在键合后晶圆上设置第二层金属重布线层;在键合后晶圆第二层金属重布线层上植球;切割得到单颗Die。
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