镇江润晶高纯化工科技股份有限公司王金城获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉镇江润晶高纯化工科技股份有限公司申请的专利一种光刻胶剥离模拟测试装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223552007U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423269793.5，技术领域涉及：G03F7/42；该实用新型一种光刻胶剥离模拟测试装置是由王金城;李振昌;乔正收;刘猛设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶剥离模拟测试装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻胶剥离模拟测试装置，包括：实验仓，实验仓通过供液管线连接有储液罐，供液管线包括进料管线和回收管线，供液管线用于喷洒和回收料液；实验仓内部腔体通过传动轴安装有固定托盘，固定托盘顶部设置有多孔喷头，固定托盘一侧设置有清洗管线，清洗管线包括第一管线和第二管线，清洗管线用于清洗晶元。本实用新型，通过传动轴带动固定托盘上的晶圆转动，通过供液管线和多孔喷头喷洒加热后的料液进行光刻胶剥离实验，通过清洗管线清洗晶圆，并通过收集盘回收料液，可以有效模拟实际生产条件下的光刻胶剥离工艺。
本实用新型一种光刻胶剥离模拟测试装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶剥离模拟测试装置，其特征在于，包括：实验仓1，所述实验仓1通过供液管线2连接有储液罐3，所述供液管线2包括进料管线21和回收管线22，所述供液管线2用于喷洒和回收料液； 所述实验仓1内部腔体通过传动轴14安装有固定托盘11，所述固定托盘11顶部设置有多孔喷头13，所述固定托盘11一侧设置有清洗管线4，所述清洗管线4包括第一管线41和第二管线42，所述清洗管线4用于清洗晶元。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人镇江润晶高纯化工科技股份有限公司，其通讯地址为：212006 江苏省镇江市镇江新区孩溪路8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励