盛合晶微半导体(江阴)有限公司刘智功获国家专利权
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龙图腾网获悉盛合晶微半导体(江阴)有限公司申请的专利一种晶圆监测机构及CMP机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223545002U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423106980.1，技术领域涉及：B24B37/20；该实用新型一种晶圆监测机构及CMP机台是由刘智功;周祖源;薛兴涛设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆监测机构及CMP机台在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆监测机构及CMP机台。该晶圆监测机构用于CMP机台，包括设置于CMP机台的研磨盘内的至少一个激光传感器，激光传感器用于对CMP机台的研磨头内的晶圆发射激光，并接收经晶圆反射的激光；每间隔一定时间，晶圆在研磨盘上的投影完全覆盖激光传感器，且其中一个激光传感器的中心与晶圆的中心重合。通过在CMP机台的研磨盘内设置激光传感器，可以实时监测晶圆是否在位，提高研磨过程中的安全性和可靠性；避免因晶圆不在位而损坏设备，减少因设备损坏导致的维修成本和更换部件的成本，减少因设备损坏和维修导致的停机时间，提高机台的运行时间，提高整体的生产效率。
本实用新型一种晶圆监测机构及CMP机台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆监测机构，用于CMP机台，其特征在于，包括设置于所述CMP机台的研磨盘内的至少一个激光传感器，所述激光传感器用于对所述CMP机台的研磨头内的晶圆发射激光，并接收经所述晶圆反射的激光； 每间隔一定时间，所述晶圆在所述研磨盘上的投影完全覆盖所述激光传感器，且其中一个所述激光传感器的中心与所述晶圆的中心重合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛合晶微半导体(江阴)有限公司，其通讯地址为：214437 江苏省无锡市江阴市东盛西路9号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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